Materiali comuni ad alta temperatura per la crescita di cristalli singoli
Introduzione
Tutti gli accrescimenti di cristalli singoli di alta qualità mediante i processi Czochralski, Bridgman e altri processi richiedono forni che operano a temperature molto elevate con forti gradienti termici. Queste condizioni creano requisiti insoliti per i materiali scelti per la costruzione dei forni.
Componenti come crogioli, riscaldatori e supporti strutturali non solo devono resistere a temperature superiori a 2000 °C, ma anche agli attacchi chimici, alle sollecitazioni termiche e alle deformazioni meccaniche. La scelta del materiale giusto è quindi la considerazione più importante, poiché influisce direttamente sulla qualità dei cristalli, sulle prestazioni del processo e sulla durata delle apparecchiature.
Requisiti dei materiali da tenere in considerazione
Quando si decide il materiale per il forno, ci sono diverse esigenze di prestazioni che devono essere bilanciate delicatamente:
-Punto di fusioneelevato: I materiali non devono diventare morbidi o degradarsi alle condizioni operative. Il tungsteno (3422 °C), il molibdeno (2623 °C) e la grafite (sublimazione superiore a 3600 °C) sono i candidati migliori.
- Conducibilitàtermica: Un efficiente trasferimento di calore mantiene i gradienti termici al minimo; Mo, W, SiC e grafite eccellono in questo senso.
- Espansionetermica: La bassa espansione riduce lo stress termico e migliora la compatibilità dei componenti. Ad esempio, il W (~4,5 × 10-⁶ K-¹) e il Mo (~5,1 × 10-⁶ K-¹) sono relativamente stabili.
- Resistenzaallo scorrimento: La stabilità delle dimensioni sotto sforzo per periodi prolungati è estremamente importante per i componenti portanti. I metalli refrattari e le loro leghe eccellono in questo aspetto.
-Stabilitàchimica: I materiali devono resistere all'ossidazione, alla formazione di carburi e alle reazioni spurie con la fusione. Questo aspetto viene spesso controllato lavorando sotto vuoto o in atmosfere di gas inerte.
-Resistenzameccanica: Parti come i supporti dei crogioli e i riscaldatori devono resistere a carichi pesanti senza subire deformazioni; sono comunemente utilizzate leghe di tungsteno-molibdeno e compositi di grafite.
Materiali comuni ad alta temperatura per la crescita dei cristalli singoli
Tungsteno (W)
Il tungsteno rimane il materiale standard nei forni per cristalli singoli. Ha un eccezionale punto di fusione a 3422 °C, un coefficiente di espansione termica estremamente basso (~4,5 × 10-⁶ K-¹) e una soddisfacente resistenza allo scorrimento in condizioni di alta temperatura. Tutti questi motivi rendono il tungsteno un prodotto essenziale per riscaldatori, aste di supporto e altre parti del forno che devono sopportare carichi termici elevati. Il suo principale difetto è l'ossidazione: a temperature elevate, superiori a ~400 °C in aria, il tungsteno si degrada molto rapidamente. Per questo motivo, viene sempre utilizzato sotto vuoto spinto o in ambienti inerti come l'argon.
Molibdeno (Mo)
Ilmolibdeno è altamente bilanciato in entrambe le caratteristiche ad alta temperatura. Il molibdeno fonde a 2623 °C e ha una conducibilità termica di ~138 W/m-K che offre una stabilità meccanica favorevole e un'eccellente lavorabilità rispetto al tungsteno. Il molibdeno è ampiamente utilizzato dagli ingegneri per i supporti dei crogioli, per le schermature e per le parti dei forni in cui è necessario eseguire saldature o sagomature. Come il tungsteno, il molibdeno si ossida facilmente - oltre i ~600 °C in aria - e il suo utilizzo richiede ambienti controllati.
Grafite
La grafite è apprezzata per la sua combinazione unica di proprietà meccaniche e termiche. È un buon conduttore di calore (valori in piano fino a 200 W/m-K), può resistere a temperature superiori a 3600 °C e può essere lavorata in forme complesse con relativa facilità. Per queste applicazioni, viene largamente impiegata per crogioli, saccarosio e isolamento termico. La grafite è altamente reattiva con l'ossigeno, ossidandosi a ~500 °C, il che ne limita l'uso al vuoto o in ambienti con gas inerte.
Ceramica
I materiali ceramici come l'allumina (Al₂O₃, punto di fusione ~2072 °C), l'ittrio (Y₂O₃, ~2430 °C) e la zirconia (ZrO₂, ~2700 °C) sono utilizzati quando la stabilità chimica è un problema. Resistono all'attacco del materiale fuso e sono quindi adatti a crogioli, rivestimenti e componenti isolanti nelle apparecchiature per la crescita dei cristalli. La loro fragilità, tuttavia, li rende suscettibili agli shock termici e alle sollecitazioni meccaniche, per cui il loro uso è limitato alle applicazioni a bassa sollecitazione.
Come selezionare
La scelta dei materiali più adatti per la crescita di cristalli singoli ad alta temperatura è un gioco di equilibri tra prestazioni chimiche, meccaniche e termiche.
I cavalli di battaglia per i componenti ad alta temperatura e ad alta resistenza sono il molibdeno e il tungsteno, mentre la grafite e la ceramica sono soluzioni utili e collaudate per i crogioli, i rivestimenti e l'isolamento. Le leghe metalliche refrattarie offrono un'ulteriore estensione delle prestazioni quando la resistenza allo scorrimento e la duttilità sono fondamentali. Infine, una stretta congruenza tra le proprietà dei materiali e la progettazione del forno garantisce una qualità costante dei cristalli, una maggiore durata delle apparecchiature e un funzionamento migliore. Per ulteriori informazioni, consultare Stanford Advanced Materials (SAM).