Cosa possiamo aspettarci di acquisire dalla tecnica sputtering in futuro?

La tecnica dello sputtering ebbe origine nel 1842, quando Grove studiò la corrosione dei catodi nel laboratorio dei tubi elettronici e scoprì che i materiali dei catodi erano migrati sulle pareti dei tubi a vuoto. Tuttavia, il meccanismo fisico dello sputtering non era molto chiaro a causa dell'arretratezza delle apparecchiature sperimentali dell'epoca. La tecnologia di sputtering a magnetron è emersa negli anni '70 e le apparecchiature di sputtering commerciali sono state utilizzate per piccole produzioni. L'attuale tecnologia di sputtering è diventata una tecnologia abbastanza matura ed è ampiamente utilizzata nei settori dei semiconduttori, del fotovoltaico, dei display e in altri settori.

Industria dei semiconduttori

Il target sputtering di elevata purezza sta aumentando con lo sviluppo dell'industria dei semiconduttori e l'industria dei circuiti integrati è diventata uno dei principali campi di applicazione del target sputtering di elevata purezza.

Con il rapido sviluppo della tecnologia dell'informazione, è necessario migliorare il grado di integrazione del circuito integrato e ridurre le dimensioni del dispositivo unitario nel circuito. L'interno di ogni dispositivo unitario è costituito da substrato, strato isolante, strato di supporto, strato conduttore e strato protettivo; lo strato di supporto, lo strato conduttore e anche lo strato protettivo si basano tutti sulla tecnologia di rivestimento sputtering, per cui il target sputtering è uno dei materiali fondamentali per la preparazione dei circuiti integrati.

Industria FPD

Il rivestimento è l'anello di base della moderna industria dei display a schermo piatto (FPD). Quasi tutti i tipi di dispositivi di visualizzazione a schermo piatto utilizzano un gran numero di materiali rivestiti per formare vari film funzionali, in modo da garantire l'uniformità di un'ampia superficie di strati di film, migliorando la produttività e riducendo i costi. I materiali di rivestimento PVD utilizzati sono principalmente materiali target di sputtering. Molte proprietà dei display a schermo piatto, come la risoluzione e la trasmittanza, sono strettamente correlate alle prestazioni del film di sputtering.

I materiali di rivestimento PVD sono utilizzati principalmente nella produzione di pannelli di visualizzazione e touch panel. Nel processo di produzione dei display a schermo piatto, il substrato di vetro viene trasformato in vetro ITO dopo ripetuti sputtering e il vetro ITO viene rivestito, lavorato e assemblato per la produzione di pannelli LCD, PDP e OLED. Per la produzione del touch screen, il vetro ITO deve essere lavorato, rivestito per formare un elettrodo, quindi assemblato e lavorato con lo schermo protettivo e altri componenti. Inoltre, nel processo di placcatura è possibile aggiungere il corrispondente film di rivestimento per realizzare la funzione di antiriflesso e antiriflesso dei prodotti di visualizzazione a schermo piatto.

Industria dell'energia solare

I materiali per il target sputtering comunemente utilizzati nella preparazione delle celle solari includono target in alluminio, rame, molibdeno, cromo, ITO e AZO, ecc. e la loro purezza è generalmente superiore al 99,99%. Di solito, i target di alluminio e rame sono utilizzati per la pellicola dello strato conduttore, i target di molibdeno e cromo per la pellicola dello strato bloccante, i target ITO e AZO per la pellicola dello strato conduttore trasparente.

Negli ultimi anni, la capacità cumulativa installata del solare fotovoltaico nel mondo è cresciuta rapidamente. Nei prossimi anni, l'industria globale delle celle solari è ancora in fase di crescita, il mercato sarà ulteriormente globalizzato e la portata e la percentuale dei mercati emergenti saranno ampliate.