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ST0209 Bersaglio di nitruro di boro (BN) per sputtering

Catalogo no. ST0209
Composizione BN
Numero CAS 10043-11-5
La purezza ≥99% (99,5% / 99,9% disponibile)
Forma Dischi o dischi personalizzati
Sinonimi Target di sputtering al nitruro di boro, target BN, target di nitruro di boro esagonale, target h-BN

Stanford Advanced Materials (SAM) offre bersagli sputtering in nitruro di boro (BN) di elevata purezza (≥99%) progettati per processi avanzati di deposizione di film sottili. Il nitruro di boro è un materiale ceramico unico che combina un'elevata conducibilità termica con un eccellente isolamento elettrico, rendendolo ideale per applicazioni di rivestimento di semiconduttori, microelettronica e ottica. I nostri target di BN sono prodotti tramite sinterizzazione a caldo e lavorazione di precisione per ottenere un'alta densità (>1,9 g/cm³) e una struttura dei grani fine e uniforme, garantendo prestazioni di sputtering RF costanti e una generazione minima di particelle. Disponibili in geometrie di dischi standard o in configurazioni personalizzate per soddisfare i requisiti specifici del sistema.

Prodotti correlati: Target di sputtering al nitruro di alluminio (AlN) | Target di sputtering al nitruro di silicio (Si3N4) | Target di sputtering al carburo di boro (B4C)

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FAQ

D: Qual è il metodo di sputtering migliore per i target di nitruro di boro?

A: Il BN è un isolante elettrico, quindi è necessario uno sputtering RF o RF-R (RF-R). La corrente continua non funzionerà—la carica si accumula sulla superficie del bersaglio e si produrrà un arco o il plasma si spegnerà.

 

D: Perché la densità è importante per gli obiettivi BN?

A: Il BN è naturalmente morbido e può essere poroso se non viene lavorato correttamente. Una bassa densità significa un maggior numero di particelle durante lo sputtering e una qualità inconsistente del film. Noi pressiamo a caldo per ottenere una densità di >1,9 g/cm³, che è circa il 90%+ di quella teorica—che è lo sweet spot per la stabilità meccanica e le prestazioni di sputtering.

 

D: I bersagli BN devono essere incollati a una piastra di supporto?

A: In genere sì, soprattutto se si lavora a una potenza ragionevole. Il BN è fragile e gli shock termici possono incrinarlo se non viene incollato correttamente a una piastra di supporto raffreddata. Offriamo incollaggi all'indio e all'elastomero—diteci la vostra gamma di potenza e vi consiglieremo quello che fa per voi.

D: Qual è la differenza tra il BN esagonale (h-BN) e le altre forme?

A: L'h-BN è la forma morbida e lubrificante (simile alla struttura della grafite) ed è ciò che la maggior parte degli obiettivi di sputtering utilizza. Esiste anche il BN cubico (c-BN), che è super duro (come il diamante), ma non è tipicamente utilizzato per i target di sputtering. I nostri target sono in h-BN con orientamento casuale dei grani per uno sputtering coerente.

D: Qual è il tempo di consegna di un obiettivo BN personalizzato?

A: I dischi standard (2"-6") vengono solitamente spediti entro 1-2 settimane. Le forme personalizzate richiedono 3-4 settimane a seconda della complessità. Se avete fretta, fatecelo sapere—a volte possiamo affrettare i tempi.

D: I target in BN possono essere utilizzati per applicazioni ad alta temperatura?

A: Sì, questo è uno dei punti di forza del BN. Sublima intorno ai 2.973°C, quindi è stabile a temperature che distruggerebbero la maggior parte degli altri materiali. Assicuratevi solo che l'incollaggio sia in grado di gestire il calore—l'indio fonde intorno ai 157°C, quindi per le corse ad alta temperatura potreste preferire un serraggio meccanico.

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