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ST11179 Bersaglio planare di cobalto ferro tantalio boro, bersaglio CoFeTaB

Catalogo no. ST11179
Composizione CoFeTaB
La purezza ≥99,9%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare di cobalto, ferro, tantalio e boro, CoFeTaB, è prodotto con un preciso controllo degli elementi e una superficie piatta e uniforme ottimizzata per la deposizione sputtering. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega l'analisi spettrometrica e l'ispezione microstrutturale durante la produzione per monitorare l'omogeneità della lega. I parametri di processo sono rigorosamente misurati per mantenere controllati i tassi di erosione e deposizione del film, assicurando che ogni target fornisca prestazioni costanti durante la lavorazione.

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FAQ

In che modo il design planare del target CoFeTaB migliora l'uniformità di deposizione del film?

La geometria planare assicura una distribuzione uniforme del plasma sulla superficie del bersaglio durante lo sputtering, riducendo al minimo l'erosione localizzata e promuovendo uno spessore costante del film. Questa uniformità è fondamentale per mantenere l'integrità delle prestazioni dei film depositati nelle applicazioni dei semiconduttori.

Quali misure di controllo della qualità vengono attuate nella produzione dei target CoFeTaB?

La produzione prevede analisi spettrometriche di routine e ispezioni microstrutturali dettagliate. Queste misure verificano la composizione della lega e l'uniformità della superficie di destinazione, riducendo le variazioni nelle prestazioni di deposizione. Per ulteriori dettagli, contattateci.

Le dimensioni del target possono essere personalizzate per adattarsi a sistemi di sputtering specifici?

Sì, le dimensioni del target sono personalizzabili, consentendo l'integrazione con diversi modelli di apparecchiature di sputtering. La personalizzazione delle dimensioni del target facilita l'allineamento ottimale e l'uniformità di deposizione in diverse configurazioni di produzione.

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