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ST10712 Bersaglio rotante di sputtering al platino Bersaglio Pt

Catalogo no. ST10712
Materiale Platino
La purezza ≥99,9%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rotante

Il target di sputtering rotativo al platino Pt è prodotto con composizione e microstruttura strettamente controllate per garantire prestazioni di sputtering costanti. Prodotto da Stanford Advanced Materials (SAM), il target è sottoposto a rigorose analisi metallurgiche e chimiche per confermare la purezza e l'uniformità. SAM impiega un'ispezione microscopica avanzata e un'analisi della composizione per monitorare i parametri del materiale durante la lavorazione, assicurando che il target soddisfi gli esigenti requisiti dei sistemi di deposizione fisica da vapore.

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FAQ

In che modo l'uniformità microstrutturale influisce sulle prestazioni dello sputtering?

Una microstruttura uniforme riduce al minimo le variazioni locali dell'erosione durante lo sputtering, contribuendo a mantenere costanti i tassi di deposizione del film e a ridurre la generazione di particolato. Ispezioni metallurgiche regolari assicurano questa uniformità, contribuendo a prestazioni prevedibili nelle applicazioni di deposizione.

Quali misure si possono adottare per prevenire la contaminazione della superficie prima dello sputtering?

Le procedure di pulizia pre-sputtering, tra cui la pulizia a ultrasuoni e l'incisione al plasma, riducono i rischi di contaminazione. Il mantenimento di un ambiente di stoccaggio controllato, con bassa umidità e minima esposizione al particolato, contribuisce a preservare l'integrità della superficie del target fino all'uso.

Quali processi di controllo della qualità vengono applicati durante la produzione di questo obiettivo?

Il target viene sottoposto a un'analisi chimica completa e a un esame microscopico per verificarne la purezza e l'uniformità. Vengono eseguite misure di densità e di fase durante il processo per confermare che il materiale soddisfa i rigorosi criteri compositivi e microstrutturali essenziali per ottenere prestazioni di sputtering ottimali.

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