GR5613 Barca di grafite PECVD

Descrizione della barca di grafite PECVD

Labarca di grafite PECVD è uno dei supporti dei normali wafer di silicio nella produzione del processo di rivestimento. Ha molti wafer a barca con un certo intervallo nella struttura, e c'è uno spazio molto stretto tra due wafer a barca adiacenti, e i wafer di silicio sono posizionati su entrambi i lati della porta vuota. Poiché la grafite è caratterizzata da una buona conduttività e da una buona conducibilità termica, tra due barche adiacenti viene applicata una tensione alternata per formare elettrodi positivi e negativi. In presenza di una certa pressione dell'aria e di gas nella camera, si verifica una scarica a bagliore tra le due barche. La scarica a bagliore può decomporre i gas SiH4 e NH3 presenti nello spazio, formare ioni Si e N e combinarsi per formare molecole SiNx Viene depositata sulla superficie del wafer di silicio per ottenere lo scopo del rivestimento.

La barca di grafite PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) è un contenitore o vettore specializzato in grafite utilizzato nel processo PECVD per depositare film sottili su vari substrati. Nel contesto della produzione di semiconduttori e di altri settori in cui la deposizione di film sottili è fondamentale, queste barche di grafite contengono e trasportano i substrati (come i wafer di silicio) attraverso la camera PECVD dove avviene il processo di deposizione.

Specifiche delle barche di grafite PECVD

Applicazioni della barca di grafite PECVD

• Produzione di semiconduttori: Le barche di grafite sono ampiamente utilizzate nella produzione di semiconduttori per la deposizione di vari tipi di film sottili, tra cui dielettrici, conduttori e semiconduttori.
• Pannelli solari: Nella produzione di celle fotovoltaiche, le barche di grafite PECVD sono utilizzate per depositare rivestimenti antiriflesso e altri strati che migliorano l'efficienza delle celle solari.
• Optoelettronica: Per i componenti che richiedono proprietà ottiche precise, la PECVD viene utilizzata per depositare strati con indici di rifrazione specifici e le barche di grafite trasportano i substrati attraverso questo processo.

Imballaggio della barca di grafite PECVD

Le nostre barche di grafite PECVD sono trattate con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.