AC5592 Mandrino elettrostatico (Al2O3)

Mandrino elettrostatico Descrizione:

Ilmandrino elettrostatico (ESC) è un componente fondamentale utilizzato nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori, in particolare nei processi di incisione al plasma, deposizione di vapore chimico (CVD) e deposizione di vapore fisico (PVD). Serve a trattenere e rilasciare in modo sicuro i wafer o i substrati di semiconduttori durante la lavorazione. Il funzionamento dell'ESC si basa sulla forza elettrostatica; quando viene applicata una tensione, genera un campo elettrostatico che blocca il wafer in posizione senza contatto fisico, garantendo un raffreddamento e un riscaldamento uniformi del wafer, nonché un'eccellente planarità e una contaminazione minima del retro.

Il mandrino elettrostatico (ESC) in Al2O3, o ossido di alluminio, è un dispositivo utilizzato nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori per trattenere e rilasciare saldamente i wafer di semiconduttori durante la lavorazione. L'ossido di alluminio è preferito per le sue eccellenti proprietà di isolamento elettrico, conduttività termica e stabilità chimica. Nel contesto di un ESC, l'Al2O3 serve principalmente come materiale dielettrico che facilita il bloccaggio elettrostatico dei wafer di semiconduttori.

Specifiche del mandrino elettrostatico:

Applicazioni del mandrino elettrostatico

• Incisione e pulizia al plasma: Per tenere saldamente in posizione i wafer durante i processi di incisione, dove è richiesta una rimozione precisa del materiale.
• Deposizione di film sottili: Assicurare che i wafer rimangano fermi e a temperature controllate durante la deposizione di strati metallici, dielettrici e semiconduttori mediante tecniche CVD o PVD.
• Fotolitografia: Anche se meno comuni, possono essere utilizzati per sostenere i wafer durante il processo di litografia, in cui i modelli vengono trasferiti sulla superficie del wafer.

Imballaggio del mandrino elettrostatico

Il nostro mandrino elettrostatico viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.