AC5591 Mandrino elettrostatico (Al2O3, SiO2, MgO)

Descrizione del mandrino elettrostatico

Ilmandrino elettrostatico (ESC) è un componente fondamentale utilizzato nelle apparecchiature per la produzione di semiconduttori, in particolare nei processi di incisione al plasma, deposizione di vapore chimico (CVD) e deposizione di vapore fisico (PVD). Serve a trattenere e rilasciare in modo sicuro i wafer o i substrati di semiconduttori durante la lavorazione. L'ESC funziona in base alla forza elettrostatica; quando viene applicata una tensione, genera un campo elettrostatico che blocca il wafer in posizione senza contatto fisico, garantendo un raffreddamento e un riscaldamento uniformi del wafer, nonché un'eccellente planarità e una contaminazione minima del retro.

Al2O3 (ossido di alluminio), SiO2 (biossido di silicio) e MgO (ossido di magnesio) sono tipicamente utilizzati come strati o componenti dielettrici nella costruzione dei mandrini elettrostatici grazie alle loro eccellenti proprietà di isolamento elettrico, stabilità termica e resistenza chimica.

Specifiche dei mandrini elettrostatici

Applicazioni del mandrino elettrostatico

• Incisione al plasma: gli ESC sono ampiamente utilizzati nei processi di incisione al plasma per mantenere saldamente in posizione i wafer dei semiconduttori.
• Deposizione chimica da vapore (CVD): Nei processi CVD, i CSE aiutano a mantenere il wafer in una posizione fissa in presenza di temperature elevate e ambienti chimici reattivi.
• Deposizione fisica da vapore (PVD): Nei processi PVD, i CSE assicurano che i wafer siano mantenuti piatti e stabili, facilitando la deposizione uniforme di strati metallici o dielettrici.
• Impianto di ioni: Gli ESC sono utilizzati per tenere i wafer durante l'impiantazione ionica, in cui gli ioni vengono incorporati nella superficie del wafer per modificarne le proprietà elettriche. Il mandrino assicura il posizionamento preciso e la stabilità del wafer sotto il fascio di ioni.
• Fotolitografia: Sebbene siano meno comuni rispetto ai processi di incisione e deposizione, gli ESC possono essere utilizzati anche nella fotolitografia per tenere fermi i wafer durante l'esposizione ai modelli di luce. La stabilità è fondamentale per ottenere l'elevata precisione richiesta dalla modellazione.

Imballaggio del mandrino elettrostatico

Il nostro mandrino elettrostatico viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.