1700C Forno tubolare in allumina a tre zone GSL-1700X-III-F3LV Descrizione
Ilforno a tubo di allumina a tre zone 1700C GSL-1700X-III-F3LV è un forno a tubo a tre zone con un tubo di allumina di 60 mm di diametro, una pompa da vuoto meccanica e un sistema di flusso di gas a tre canali. Può riscaldare i campioni a temperature fino a 1700°C e raggiungere un livello di vuoto fino a 5x10^-2 torr. Il sistema del forno consente una miscelazione precisa di 1-3 tipi di gas, essenziale per la deposizione chimica da vapore (CVD) o per i processi di diffusione. Inoltre, il sistema è dotato di un misuratore a diaframma capacitivo Pirani anticorrosivo per misurazioni accurate del vuoto, anche con gas aggressivi.
Forno a tubo di allumina a tre zone 1700C GSL-1700X-III-F3LV Caratteristiche tecniche
Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria: Due ventole di raffreddamento interne mantengono la temperatura esterna dell'involucro al di sotto dei 55°C, migliorando l'affidabilità.
- Isolamento in allumina fibrosa di elevata purezza: Massimizza l'efficienza energetica riducendo al minimo la perdita di calore durante il funzionamento.
- Tre zone di riscaldamento indipendenti: Controllati da tre termoregolatori di precisione, consentono un riscaldamento preciso e uniforme in diverse zone.
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Potenza
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10 KW, CA 208-240V monofase, 50/60 Hz
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Zona di riscaldamento
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Tre zone: zona di riscaldamento totale di 25" (630 mm) (compresi i due separatori in refrattario)
- Zona 1: 7,5" (190 mm) riscaldata da 4 pezzi di SiC tipo U
Temperatura di lavoro 800 - 1400°C
Velocità di riscaldamento: 10°C/min
- Zona 2: 10" (250 mm) riscaldato da 6 pezzi U tipo MoSi2
Temperatura di lavoro 800 - 1700°C
Max. Velocità di riscaldamento: 5°C/min
- Zona 3: 7,5" (190 mm) riscaldato da 4 pezzi U tipo SiC
Temperatura di lavoro 800 - 1400°C
Velocità massima di riscaldamento: 10°C/min. Velocità di riscaldamento: 10°C/min
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Dimensioni del tubo e flangia
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- Tubo di allumina di purezza 99,8%
- 60 mm (2-3/8") O.D. x 2-1/8" I.D. (54 mm) x 1200 mm (48") Lunghezza
- Flangia di tenuta del vuoto in acciaio inox da 60 mm con valvola e misuratore inclusi.
- Sono inclusi due blocchi di ceramica porosa per proteggere la flangia dalle radiazioni di riscaldamento.
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Controllo della temperatura. Controllo della temperatura
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- Tre termoregolatori di precisione per controllare tre zone separatamente.
- Controllo automatico PID tramite raddrizzatore controllato al silicio (SCR) con controllo dell'angolo di fase e resistenza di limitazione della corrente.
- 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, raffreddamento e tempo di permanenza.
- Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
- La protezione e l'allarme di sovratemperatura consentono il funzionamento senza personale.
- Precisione della temperatura di +/- 1 ºC.
- Porta di comunicazione RS485.
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Misuratore di vuoto
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- Calibro a membrana capacitiva resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, appositamente progettato per le misure del vuoto in presenza di gas corrosivi.
- Il misuratore viene installato sulla flangia del vuoto (lato destro) del forno a tubi e offre un ampio intervallo di misura (10^-5 ~ 1000 torr).
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Dimensioni
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550 x 380 x 520 mm
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Pompa per vuoto
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Pompa per vuoto rotativa a palette per impieghi gravosi (7,8 CFM -240 L/m) con sistema di scarico a due stadi installato all'interno della stazione del vuoto. Il sistema del vuoto può raggiungere 5x10-2 torr entro 30 minuti di pompaggio.
Un adattatore KFD25 è installato sulla flangia per il collegamento alla pompa del vuoto.
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Sistema di miscelazione ed erogazione del gas a tre canali
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- All'interno della valigetta mobile sono installati tre misuratori di portata di gas (4% di precisione FS) in grado di monitorare la portata dei gas (tre diversi tipi di gas in totale)
1) Flussimetro compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min.
2) Flussimetro compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min.
3) Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min.
- Un misuratore di pressione è installato all'interno di un carrello mobile in grado di monitorare la pressione del serbatoio di miscelazione.
- 4 valvole a spillo in acciaio inox sono installate sul carrello mobile.
- Due tubi per il flusso di gas sono forniti per l'uso immediato (un tubo per due gas miscelati e un altro per un gas indipendente).
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Cavo di alimentazione e spina
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- Sono inclusi 10 piedi di cavo di alimentazione 8-3 AWG approvato UL per impieghi gravosi.
- La spina non è inclusa; è possibile ordinarla presso il negozio di ferramenta locale in base alla spina femmina presente nel laboratorio.
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Dimensioni
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Forno: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H pollici)
Carrello del gas: 850 mm (L) x 600 mm (L) x 700 mm (H)
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Peso netto
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150Kg (forno) + 100Kg (totale 550lb)
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Peso di spedizione
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800 libbre
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Dimensioni di spedizione
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Due casse in un pallet: 45x45x35/cassa
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno del produttore (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
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Conformità
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Certificazione CE
La certificazione UL / MET / CSA è disponibile su richiesta, con costi aggiuntivi.
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Avvertenze
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- I forni a tubo con tubi in allumina sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < / 0,2 Bar/ 3 PSI
- Non utilizzare mai un crogiolo di grafite in un tubo di allumina.
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
- La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min).
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di allumina: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1500°C.
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Forno tubolare in allumina a tre zone 1700C GSL-1700X-III-F3LV Applicazioni
- Deposizione chimica da vapore (CVD):
Consente la deposizione di film sottili e rivestimenti su substrati con atmosfere di gas controllate.
Utilizzata nella fabbricazione di semiconduttori, nel rivestimento di superfici e nella sintesi di nanomateriali.
Facilitano il movimento controllato di atomi o molecole all'interno di materiali solidi.
Essenziale per il drogaggio dei materiali semiconduttori e per il miglioramento delle proprietà dei materiali.
- Ricottura e sinterizzazione ad alta temperatura:
Ideale per i processi di ricottura per migliorare la cristallinità dei materiali ed eliminare i difetti.
Supporta la sinterizzazione di ceramiche e metalli per la densificazione e il miglioramento delle proprietà meccaniche.
Fornisce un ambiente controllato per lo studio del comportamento e delle proprietà dei materiali alle alte temperature.
È essenziale per esplorare nuovi materiali e processi nei laboratori di ricerca.
Forno tubolare in allumina a tre zone 1700C GSL-1700X-III-F3LV Imballaggio
Il nostro forno a tubo di allumina a tre zone 1700C GSL-1700X-III-F3LV è trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del nostro prodotto nelle sue condizioni originali.