1200C Forno a tubo scorrevole doppio per CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Descrizione
Ilforno a doppio tubo scorrevole 1200C per CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD è un forno a doppio tubo scorrevole su binario, progettato specificamente per la deposizione termica da vapore chimico (CVD). È dotato di un tubo di quarzo da 2" OD x 55" L con flange e può raggiungere una temperatura di lavoro massima di 1200°C. Questo design unico consente a due forni a tubo da 2" di scorrere lungo la guida, facilitando il posizionamento ottimale per l'evaporazione/sublimazione termica dei materiali di partenza e la deposizione di film.
Lo scorrimento del forno da un lato all'altro consente velocità di riscaldamento e raffreddamento fino a 100°C/min. Tra le caratteristiche opzionali vi sono lo scorrimento motorizzato per una maggiore automazione, i sistemi di erogazione del gas MFC (Mass Flow Controller) e un generatore di plasma RF. Queste opzioni consentono di realizzare un sistema CVD termico (TCVD) flessibile e a basso costo, adatto a un'ampia gamma di applicazioni industriali e di ricerca.
Forno a doppio tubo scorrevole 1200C per CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Specifiche tecniche
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Strutture in acciaio a doppio strato: Entrambi i forni sono costruiti con acciaio a doppio strato, in grado di sopportare temperature fino a 1200°C.
- Zone di riscaldamento e temperatura costante: Ogni forno è dotato di una zona di riscaldamento di 200 mm e di una zona a temperatura costante di 60 mm, per garantire un controllo termico preciso.
- Sistema di guide scorrevoli: Dotato di una coppia di guide scorrevoli sul fondo, che consentono la regolazione manuale da un lato all'altro con una distanza massima di scorrimento di 400 mm, facilitando il posizionamento e il funzionamento flessibile.
- Flange per il vuoto pronte all'uso: Le flange per il vuoto sono preinstallate per una configurazione e un utilizzo immediati, garantendo una rapida integrazione nei sistemi di vuoto per varie applicazioni.
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Potenza
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2,5KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezzadella zona di riscaldamento
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200 mm (~8") per ciascun forno
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Zona a temperatura costante
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60 mm
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Dimensioni del tubo di lavorazione
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Tubo di quarzo fuso di elevata purezza
Dimensioni: 50 mm O.D x 44 mm I.D x 1500 mm di lunghezza
Opzionale: Il tubo in lega ad alta temperatura S310 è disponibile per pressioni più elevate (100 PSI) a un costo aggiuntivo.
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Temp. Controllo della temperatura
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- Due forni sono dotati di controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
- L'allarme e la protezione da sovratemperatura incorporati consentono il funzionamento senza operatore.
- Sono incluse due coppie termiche di tipo K.
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Flange per il vuoto
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- Le flange per il vuoto in acciaio inox con manometro sono installate su entrambe le estremità del tubo con un supporto per impieghi gravosi.
- La flangia opzionale con porta per il vuoto KF25 e vuotometro digitale è disponibile a un costo aggiuntivo, così come la flangia per l'acqua fredda.
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Binari di scorrimento / Tavolo
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- Doppio binario di scorrimento in acciaio placcato al Cr
- Lunghezza di scorrimento: 1200 mm
- Sono inclusi due morsetti di arresto dello scorrimento per mantenere la posizione dei forni.
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Dimensioni
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- Forno: 340 x 300 x 400 mm
- Totale: 1600 x 430 x 500 mm (forni + scorrimento)
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Peso netto
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~ 80 kg
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Dimensioni del pacco di spedizione
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70" x 45" x 45" (pollici)
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno del produttore (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
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Conformità
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Certificazione CE
La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
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Note
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
- La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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Forno a doppio tubo scorrevole a 1200°C per applicazioni CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD
Facilita la deposizione di film sottili e rivestimenti su substrati attraverso processi termici.
Utilizzato nella produzione di semiconduttori, celle fotovoltaiche e materiali avanzati.
Consente la sintesi di nanomateriali, come nanotubi e grafene, attraverso processi termici controllati.
Supporta lo sviluppo di ceramiche avanzate e materiali compositi.
- Evaporazione/sublimazione del materiale di partenza:
Posiziona due forni a tubo su una guida scorrevole per ottimizzare i processi di evaporazione o sublimazione termica dei materiali di partenza.
Facilita il posizionamento preciso per la deposizione uniforme di film e la lavorazione dei materiali.
- Elevate velocità di riscaldamento e raffreddamento:
Raggiunge velocità di riscaldamento e raffreddamento fino a 100°C/min, fondamentali per ottimizzare i tempi di lavorazione e le proprietà dei materiali.
- Configurazione flessibile del sistema:
Offre funzioni opzionali come lo scorrimento motorizzato, i sistemi di erogazione del gas MFC (Mass Flow Controller) e l'integrazione del generatore di plasma RF.
Consente una facile personalizzazione e adattamento a specifiche esigenze di ricerca o industriali.
Forno a tubo scorrevole doppio 1200C per CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD
Il nostro forno a doppio tubo scorrevole 1200C per CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.
Specificazione
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Strutture in acciaio a doppio strato: Entrambi i forni sono costruiti con acciaio a doppio strato, in grado di resistere a temperature fino a 1200°C.
- Zone di riscaldamento e temperatura costante: Ogni forno è dotato di una zona di riscaldamento di 200 mm e di una zona a temperatura costante di 60 mm, per garantire un controllo termico preciso.
- Sistema di guide scorrevoli: Dotato di una coppia di guide scorrevoli sul fondo, che consentono la regolazione manuale da un lato all'altro con una distanza massima di scorrimento di 400 mm, facilitando il posizionamento e il funzionamento flessibile.
- Flange per il vuoto pronte all'uso: Le flange per il vuoto sono preinstallate per una configurazione e un utilizzo immediati, garantendo una rapida integrazione nei sistemi di vuoto per varie applicazioni.
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Potenza
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2,5KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezzadella zona di riscaldamento
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200 mm (~8") per ciascun forno
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Zona a temperatura costante
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60 mm
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Dimensioni del tubo di lavorazione
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Tubo di quarzo fuso di elevata purezza
Dimensioni: 50 mm O.D x 44 mm I.D x 1500 mm di lunghezza
Opzionale: Il tubo in lega ad alta temperatura S310 è disponibile per pressioni più elevate (100 PSI) a un costo aggiuntivo.
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Temp. Controllo della temperatura
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- Due forni sono dotati di controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza.
- L'allarme e la protezione da sovratemperatura incorporati consentono il funzionamento senza operatore.
- Sono incluse due coppie termiche di tipo K.
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Flange per il vuoto
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- Le flange per il vuoto in acciaio inox con manometro sono installate su entrambe le estremità del tubo con un supporto per impieghi gravosi.
- La flangia opzionale con porta per il vuoto KF25 e vuotometro digitale è disponibile a un costo aggiuntivo, così come la flangia per l'acqua fredda.
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Binari di scorrimento / Tavolo
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- Doppio binario di scorrimento in acciaio placcato al Cr
- Lunghezza di scorrimento: 1200 mm
- Sono inclusi due morsetti di arresto dello scorrimento per mantenere la posizione dei forni.
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Dimensioni
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- Forno: 340 x 300 x 400 mm
- Totale: 1600 x 430 x 500 mm (forni + scorrimento)
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Peso netto
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~ 80 kg
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Dimensioni del pacco di spedizione
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70" x 45" x 45" (pollici)
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno del produttore (le parti di consumo come i tubi di lavorazione, gli O-ring e gli elementi riscaldanti non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati qui sotto).
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Conformità
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Certificazione CE
La certificazione NRTL o CSA è disponibile su richiesta con un costo aggiuntivo.
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Note
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
- La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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