1200C Forno tubolare a tre zone con pompa a vuoto per CVD OTF-1200X-4-III-9HV Descrizione
Ilforno tubolare a tre zone 1200C con pompa a vuoto per CVD OTF-1200X-4-III-9HV è un forno tubolare diviso a tre zone con diametro di 4", certificato CE, progettato per processi termici avanzati. È dotato di un sistema di pompe da vuoto in grado di raggiungere 10^-4 torr e di un sistema di controllo del gas con flussimetro digitale di precisione e pannello a sfioramento PLC a 9 canali. Questo sistema può controllare fino a nove tipi di gas, rendendolo ideale per la deposizione chimica da vapore (CVD) e i processi di diffusione.
Forno tubolare a tre zone 1200C con pompa a vuoto per CVD OTF-1200X-4-III-9HV Specifiche tecniche
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria.
- Rivestimento in cartone di allumina di elevata purezza per un funzionamento economicamente vantaggioso.
- Tre zone di riscaldamento con tre regolatori di temperatura indipendenti.
- Il sistema di miscelazione del vuoto e del gas si trova nella parte inferiore Carrello mobile con 4 ruote.
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Potenza
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7KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezza della zona di riscaldamento
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Tre zone: (880 mm, 35" in totale)
Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
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Temperatura costante Zona
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Lunghezza 500 mm (20")
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Regolatore di temperatura Regolatore
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- Tre termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti, che controllano ogni zona di riscaldamento separatamente.
- PID regolabile con funzione di autotuning per garantire la stabilità della temperatura entro +/- 1 ℃.
- Protezione completa in ogni regolatore per sovratemperatura e rottura della coppia termica.
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Dimensioni e materialidel tubo
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Tubo in quarzo fuso
100 mm O.D. x 92 mm ID. x 1400 mm
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Termocoppia
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Tre termocoppie di tipo K
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Stazione per alto vuoto
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Raccordi per il vuoto
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Gli accessori per il vuoto standard comprendono:
- Due flange per vuoto in acciaio inox con connettore per pompa KF-25, due valvole ad ago e un connettore per tubo Swagelok da 1/4".
- Sei pezzi di O-ring in silicone per alte temperature da utilizzare sotto i 300°C.
- Sono incluse due coppie di termoblocchi in allumina per proteggere la flangia dalle radiazioni termiche.
- Un soffietto per vuoto KF-40
- Tre morsetti rapidi KF-40.
- Due morsetti rapidi KF-25.
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Struttura
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- Dimensioni carrello mobile: 600 (L) x 600 (L) x 700(H), mm
- Carico massimo Carico: 600 libbre sulla parte superiore
- Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale
- All'interno: Pompa del vuoto
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Sensore di vuoto
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Il sensore di vuoto è dotato di un connettore KF-25.
Misuratore di alto vuoto (campo di misura 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tensione nominale
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AC 208-240V, monofase, 50/60Hz
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Pannello di controllo
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Funzionamento con un solo pulsante - la pompa a membrana e la pompa turbomolecolare si avviano dopo aver premuto il pulsante "start".
Velocità di rotazione controllata dal sistema - il controller controllerà la velocità di rotazione della turbina su e giù in base al livello di vuoto e alla velocità di fuoriuscita della camera di reazione.
Autoprotezione - il sistema protegge la pompa dai danni causati dal surriscaldamento e dalla sovracorrente se il tasso di perdita della camera di reazione è troppo alto per raggiungere il vuoto spinto.
Schermo LCD - l'interfaccia di controllo dei parametri a doppia riga facilita la gestione del lavoro.
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Portata in volume
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Azoto N2 33 L/s
Elio He 39 L/s (2340L/minuto)
Idrogeno H2 32 L/s
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Campo di lavoro
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Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressione finale
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10^-5 torr (con forno a tubi)
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Alimentazione
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110V CA o 220V CA commutabile, 50/60Hz
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Consumo di energia
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Durata/Potenza massima: 100/110 Watt
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Regolatore di flusso di massa
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Controllore di flusso di massa
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9 misuratori di portata massica di precisione sono installati nel carrello mobile inferiore con pannello di visualizzazione digitale del +/-1,5% del fondo scala.
- Controllore 1: 0~100 SCCM
- Controllore 2: 1~199 SCCM
- Controllore 3: 1~199 SCCM
- Controllore 4: 1~499 SCCM
- Controllore 5-9: il campo di misura può essere personalizzato su richiesta.
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Altre parti
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Raccordo del tubo del gas
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Un raccordo per tubi da 1/4" è installato nella flangia sinistra come ingresso del gas.
Ogni stazione MFC dispone di quattro raccordi per tubi Swagelok da 1/4". E quattro valvole on/off per ciascun percorso del gas. La quinta è utilizzata come uscita del gas.
Il tubo del gas PTFE da 1/4" è incluso nella confezione standard.
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Informazioni sulla spedizione
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Dimensioni
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Forno: 550 x 380 x 520 mm
Stazione MFC: 600 x 600 x 700 mm
Stazione HV: 600 x 600 x 700 mm
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Peso
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Peso netto: 100 kg
Peso di spedizione: 350 lb (due pallet)
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
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Conformità
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Certificato CE/UL/CSA
Selezionare il certificato nella barra delle opzioni:
Certificato CE e UL/CSA pronto a passare il certificato UL/CSA con un costo aggiuntivo.
Certificato UL - Approvazioni UL (UL 61010)
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Attenzione
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I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa (pressione assoluta).
Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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Forno tubolare a tre zone a 1200°C con pompa da vuoto per applicazioni CVD OTF-1200X-4-III-9HV
- Deposizione chimica da vapore (CVD):
- Deposito di film sottili e rivestimenti su substrati.
- Utilizzata nella produzione di dispositivi semiconduttori e celle fotovoltaiche.
- Facilitano il movimento di atomi o molecole all'interno dei solidi.
- Essenziale per lo sviluppo e la lavorazione dei materiali semiconduttori.
- Trattamenti termici sotto vuoto:
- Consente la ricottura, la sinterizzazione e altri trattamenti termici in un ambiente controllato sotto vuoto.
- Riduce la contaminazione e l'ossidazione, migliorando le proprietà dei materiali.
- Protezione dai gas di schermatura:
- Consente esperimenti che richiedono atmosfere inerti o riducenti.
- Protegge i campioni dall'ossidazione e da altre interazioni atmosferiche durante il trattamento.
Forno tubolare a tre zone 1200C con pompa da vuoto per CVD OTF-1200X-4-III-9HV
Il nostro forno tubolare a tre zone 1200C con pompa a vuoto per CVD OTF-1200X-4-III-9HV viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.
Specificazione
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria.
- Rivestimento in cartone di allumina ad alta purezza per un funzionamento efficiente dal punto di vista energetico.
- Tre zone di riscaldamento con tre regolatori di temperatura indipendenti.
- Il sistema di miscelazione del vuoto e del gas si trova nella parte inferiore Carrello mobile con 4 ruote.
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Potenza
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7KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezza della zona di riscaldamento
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Tre zone: (880 mm, 35" in totale)
Zona 1: 220 mm + Zona 2: 440 mm + Zona 3: 220 mm
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Temperatura costante Zona
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Lunghezza 500 mm (20")
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Regolatore di temperatura Regolatore
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- Tre termoregolatori digitali di precisione programmabili con 30 segmenti, che controllano ogni zona di riscaldamento separatamente.
- PID regolabile con funzione di autotuning per garantire la stabilità della temperatura entro +/- 1 ℃.
- Protezione completa in ogni regolatore per la sovratemperatura e la rottura della coppia termica.
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Dimensioni e materialidel tubo
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Tubo in quarzo fuso
100 mm O.D. x 92 mm ID. x 1400 mm
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Termocoppia
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Tre termocoppie di tipo K
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Stazione per alto vuoto
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Raccordi per il vuoto
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Gli accessori per il vuoto standard comprendono:
- Due flange per vuoto in acciaio inox con connettore per pompa KF-25, due valvole ad ago e un connettore per tubo Swagelok da 1/4".
- Sei pezzi di O-ring in silicone per alte temperature da utilizzare sotto i 300°C.
- Sono incluse due coppie di termoblocchi in allumina per proteggere la flangia dalle radiazioni termiche.
- Un soffietto per vuoto KF-40
- Tre morsetti rapidi KF-40.
- Due morsetti rapidi KF-25.
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Struttura
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- Dimensioni del carrello mobile: 600 (L) x 600 (L) x 700(H), mm
- Carico massimo Carico: 600 libbre sulla parte superiore
- Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale
- All'interno: Pompa del vuoto
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Sensore di vuoto
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Il sensore di vuoto è dotato di un connettore KF-25.
Misuratore di alto vuoto (campo di misura 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tensione nominale
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AC 208-240V, monofase, 50/60Hz
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Pannello di controllo
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Funzionamento con un solo pulsante - la pompa a membrana e la pompa turbomolecolare si avviano dopo aver premuto il pulsante "start".
Velocità di rotazione controllata dal sistema - il controller controlla la velocità di rotazione della turbina in base al livello di vuoto e alla velocità di fuoriuscita della camera di reazione.
Autoprotezione - il sistema protegge la pompa dai danni causati dal surriscaldamento e dalla sovracorrente se il tasso di perdita della camera di reazione è troppo alto per raggiungere il vuoto spinto.
Schermo LCD - l'interfaccia di controllo dei parametri a doppia riga facilita la gestione del lavoro.
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Portata in volume
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Azoto N2 33 L/s
Elio He 39 L/s (2340L/minuto)
Idrogeno H2 32 L/s
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Campo di lavoro
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Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressione finale
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10^-5 torr (con forno a tubi)
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Alimentazione
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110V CA o 220V CA commutabile, 50/60Hz
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Consumo di energia
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Durata/Potenza massima: 100/110 Watt
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Regolatore di flusso di massa
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Controllore di flusso di massa
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9 misuratori di portata massica di precisione sono installati nel carrello mobile inferiore con pannello di visualizzazione digitale del +/-1,5% del fondo scala.
- Controllore 1: 0~100 SCCM
- Controllore 2: 1~199 SCCM
- Controllore 3: 1~199 SCCM
- Controllore 4: 1~499 SCCM
- Controllore 5-9: il campo di misura può essere personalizzato su richiesta.
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Altre parti
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Raccordo del tubo del gas
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Un raccordo per tubi da 1/4" è installato nella flangia sinistra come ingresso del gas.
Ogni stazione MFC dispone di quattro raccordi per tubi Swagelok da 1/4". E quattro valvole on/off per ciascun percorso del gas. La quinta è utilizzata come uscita del gas.
Il tubo del gas PTFE da 1/4" è incluso nella confezione standard.
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Informazioni sulla spedizione
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Dimensioni
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Forno: 550 x 380 x 520 mm
Stazione MFC: 600 x 600 x 700 mm
Stazione HV: 600 x 600 x 700 mm
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Peso
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Peso netto: 100 kg
Peso di spedizione: 350 lb (due pallet)
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno (le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperti dalla garanzia; si prega di ordinare le parti di ricambio ai prodotti correlati indicati di seguito).
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Conformità
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Certificato CE/UL/CSA
Selezionare il certificato nella barra delle opzioni:
Certificato CE & UL/CSA pronto a passare il certificato UL/CSA a un costo aggiuntivo
Certificato UL - Approvazioni UL (UL 61010)
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Attenzione
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I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa (pressione assoluta).
Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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