Forno tubolare a tre zone 1200C per CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Descrizione
La workstation della serieOTF-1200X-III-HVC comprende un forno tubolare a tre zone della serie OTF-1200X-III, una stazione di controllo del gas a flusso di massa di precisione, una stazione di alto vuoto e altri componenti essenziali. Questa stazione di lavoro ha una temperatura massima di lavoro di 1200°C e può raggiungere un livello di vuoto finale di 10^-4 torr con il gruppo di tenuta fornito. La stazione di controllo del gas a flusso di massa miscela diversi tipi di gas e immette il gas miscelato in un tubo di quarzo fuso all'interno del forno. È ideale per condurre esperimenti come la deposizione chimica da vapore (CVD), la diffusione e altri trattamenti termici in condizioni di vuoto con protezione del gas di schermatura. Il forno è inoltre dotato di una stazione di controllo del gas a flusso di massa con display digitale a LED a 4 canali per una gestione precisa del gas.
Forno tubolare a tre zone 1200C per CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Specifiche tecniche
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria.
- Termostato incorporato per controllare il raffreddamento automatico in caso di temperatura > 55°C.
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Tubo di lavorazione
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- Materiale: Tubo di quarzo fuso
- Un tubo di lavorazione è incluso nel forno.
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Potenza
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7KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro.
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezza della zona di riscaldamento
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Zona di riscaldamento totale: 900 mm (300 mm + 300 mm + 300 mm)
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Regolatore di temperatura Regolatore
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- Tre regolatori di temperatura di precisione per controllare tre zone separatamente.
- Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili.
- Precisione della temperatura: ±1°C
- Termocoppia: Tipo K incorporata all'interno del forno
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Tenuta del vuoto
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- Una coppia di flange per il vuoto in acciaio inox con:
un manometro meccanico
due valvole a spillo
un connettore KF-40 per la stazione del vuoto spinto.
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Dimensioni
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1100(L) x 450(L) x 670(H), mm
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Tensione nominale
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208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Stazione per alto vuoto
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Struttura
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Dimensioni carrello mobile: 600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm
Carico massimo: 600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm Carico: 600 libbre sulla parte superiore
Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale
Interno: pompa a vuoto
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Portata del volume
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Azoto N2: 33 L/s
Elio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Idrogeno H2: 32 L/s
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Campo di lavoro
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Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressione finale
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<1E-8 mbar (senza perdite)
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Tensione e potenza
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110VAC o 220VAC, 110W
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Controllo del flusso di massa del gas
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Struttura
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- Sistema di controllo del gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC
- Display a LED
- MFC a 4 canali Realizzato in acciaio inox 316 con gamma di flusso di gas come di seguito indicato:
Controllore 1: 0~100SCCM
Controllore 2: 1~199 SCCM
Controllore 3: 1~199 SCCM
Controllore 4: 1~499 SCCM
- 4 Il gas del canale passa attraverso un serbatoio di miscelazione del gas: Φ80X120mm
- Dimensioni: 600 (L) x 745 (W) x 700 (H), mm
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Potenza
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18W per canale
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Tensione nominale
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AC 208-240V, monofase, 50/60Hz
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Spedizione e garanzia
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Dimensioni di spedizione
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Totale tre pallet: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso di spedizione
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850 libbre
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno
(Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia; per ordinare i ricambi, consultare i prodotti correlati riportati di seguito).
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Conformità
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Certificazione CE
Certificazione NRTL o CSA a pagamento.
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Avvertenze
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I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi
Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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Forno tubolare a tre zone a 1200°C per applicazioni CVD OTF-1200X-III-HVC-LD
- Deposizione chimica da vapore (CVD):
- Deposito di film sottili e rivestimenti su substrati.
- Utilizzata nella produzione di dispositivi semiconduttori e celle fotovoltaiche.
- Facilitano il movimento di atomi o molecole all'interno dei solidi.
- Essenziale per lo sviluppo e la lavorazione dei materiali semiconduttori.
- Trattamenti termici sotto vuoto:
- Consente la ricottura, la sinterizzazione e altri trattamenti termici in un ambiente controllato sotto vuoto.
- Riduce la contaminazione e l'ossidazione, migliorando le proprietà dei materiali.
- Protezione dai gas di schermatura:
- Consente esperimenti che richiedono atmosfere inerti o riducenti.
- Protegge i campioni dall'ossidazione e da altre interazioni atmosferiche durante il trattamento.
Forno tubolare a tre zone 1200C per CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Imballaggio
Il nostro forno tubolare a tre zone 1200C per CVD OTF-1200X-III-HVC-LD viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.
Specificazione
Forno atubo serie OTF-1200X
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria.
- Termostato incorporato per controllare il raffreddamento automatico in caso di temperatura > 55°C.
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Tubo di lavorazione
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- Materiale: Tubo di quarzo fuso
- Un tubo di lavorazione è incluso nel forno.
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Potenza
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7KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro.
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezza della zona di riscaldamento
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Zona di riscaldamento totale: 900 mm (300 mm + 300 mm + 300 mm)
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Regolatore di temperatura Regolatore
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- Tre regolatori di temperatura di precisione per controllare tre zone separatamente.
- Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili.
- Precisione della temperatura: ±1°C
- Termocoppia: Tipo K integrata nel forno
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Tenuta del vuoto
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- Una coppia di flange da vuoto in acciaio inox con:
un manometro meccanico
due valvole a spillo
un connettore KF-40 per la stazione del vuoto spinto.
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Dimensioni
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1100(L) x 450(L) x 670(H), mm
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Tensione nominale
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208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Stazione per alto vuoto
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Struttura
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Dimensioni carrello mobile: 600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm
Carico massimo: 600 (L) x 600 (W) x 700 (H), mm Carico: 600 libbre sulla parte superiore
Pannello di controllo della pompa molecolare: LCD digitale
Interno: pompa a vuoto
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Portata del volume
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Azoto N2: 33 L/s
Elio He: 39 L/s (2340L/minuto)
Idrogeno H2: 32 L/s
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Campo di lavoro
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Da 1000 mbar a <1E-7 mbar
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Pressione finale
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<1E-8 mbar (senza perdite)
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Tensione e potenza
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110VAC o 220VAC, 110W
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Controllo del flusso di massa del gas
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Struttura
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- Sistema di controllo del gas a 2-9 canali con touch panel PLC e software operativo per PC
- Display a LED
- MFC a 4 canali Realizzato in acciaio inox 316 con gamma di flusso di gas come di seguito indicato:
Controllore 1: 0~100SCCM
Controllore 2: 1~199 SCCM
Controllore 3: 1~199 SCCM
Controllore 4: 1~499 SCCM
- 4 Il gas del canale passa attraverso un serbatoio di miscelazione del gas: Φ80X120mm
- Dimensioni: 600 (L) x 745 (W) x 700 (H), mm
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Potenza
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18W per canale
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Tensione nominale
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AC 208-240V, monofase, 50/60Hz
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Spedizione e garanzia
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Dimensioni di spedizione
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Totale tre pallet: (#1: 60" x 45" x 40"; #2: 48" x 40" x 42"; #3: 48" x 40" x 42")
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Peso di spedizione
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850 libbre
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno
(Le parti di consumo, come i tubi di lavorazione, gli o-ring e gli elementi riscaldanti, non sono coperte dalla garanzia; per ordinare i ricambi, consultare i prodotti correlati riportati di seguito).
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Conformità
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Certificazione CE
Certificazione NRTL o CSA a pagamento.
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Avvertenze
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I forni tubolari con tubo al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi
Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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