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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria
- Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza
- Design del coperchio separabile
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Potenza
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5KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
- Precisione della temperatura: ±1,0
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Lunghezza della zona di riscaldamento
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- Tre zone: (880 mm, 35" in totale)
Zona 1: 220 mm (8,6")
Zona 2: 440 mm (17,3")
Zona 3: 220 mm (8,6")
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Zona a temperatura costante
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- Se tre zone sono impostate alla stessa temperatura, la zona a temperatura costante è lunga 25" (625 mm) con una discrepanza di temperatura di ± 1°C.
- Se si utilizza una sola zona (zona centrale), la zona a temperatura costante è lunga 110 mm (4,3") con una differenza di temperatura di ± 1°C.
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Elementi di riscaldamento
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Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo
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Regolatore di temperatura Regolatore
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- Tre regolatori di temperatura di precisione per controllare tre zone separatamente
- Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza
- Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia
- La protezione e l'allarme di sovratemperatura consentono il funzionamento senza personale di assistenza
- Precisione della temperatura di ± 1℃
- Porta di comunicazione RS485
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Sensore di vuoto e display
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- Calibro a membrana capacitiva resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, appositamente progettato per le misurazioni del vuoto in presenza di gas corrosivi.
- Il misuratore è installato sulla flangia del vuoto del forno a tubi e fornisce un ampio intervallo di misura (10^-5 ~ 1000 torr).
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Tubo di quarzo e flange di tenuta
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- Tubo di quarzo fuso da 80 mm O.D. x 72 mm ID. x 1400 mm incluso.
- Sono incluse flange per il vuoto con valvole e manometri.
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Flangia scorrevole con portacampioni
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La slitta per il trasferimento del campione (azionata manualmente) è disponibile come opzione al costo aggiuntivo di 1900 dollari.
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Flange di tenuta del vuoto
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- Due flange in acciaio inox con manometro e valvole incluse.
- La pressione minima del vuoto raggiunta dalla pompa meccanica è di 5,5 m-torr. (5,5x10^-3 torr). La pressione può raggiungere 10^-5 torr utilizzando una pompa meccanica + molecolare.
- Il tasso di perdita è < 5 m-torr / min. e la pressione di vuoto stabile dopo 24 ore è < 2 torr.
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Monitoraggio dell'ossigeno
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Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione.
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Pompa per vuoto
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La pompa del vuoto rotativa a palette da 120 L/m è inclusa con una pressione di vuoto massima di 10^-2torr. È incluso un tubo flessibile in acciaio inox per il collegamento al forno a tubi.
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Misuratore di flusso di gas e misuratore di pressione
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- Tre misuratori di portata di gas (4% di precisione FS) sono installati all'interno della cassa mobile per consentire il monitoraggio delle portate di gas (tre diversi tipi di gas in totale).
Flussimetro compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min.
Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min.
Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min.
- All'interno del carrello mobile sono installati quattro misuratori di pressione in grado di monitorare tre tipi di pressione del gas in circolazione e la pressione del serbatoio di miscelazione.
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Peso di spedizione
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850 libbre
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Valvole
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Quattro valvole in acciaio inox sono installate nel pannello laterale del carrello mobile per controllare la miscelazione dei tre gas in ingresso separatamente.
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Dimensioni
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- Forno: 1100 X 450 x 670 mm
- Cassa mobile inferiore: 600 x 600 x 597 mm
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Garanzia
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Garanzia limitata di un anno del produttore.
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Avvertenze e note
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- Per ottenere una temperatura accurata all'interno del forno a tubi, è necessario calibrare la temperatura da soli.
- I forni tubolari con tubi in allumina sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
- Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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Certificato
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- Certificato CE
- La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.
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