Fuori produzione MF5928 (Fuori Produzione) Forno tubolare al quarzo a tre zone 1200C OTF-1200X-III-80-F3LV

Struttura del forno

• Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria
• Isolamento in fibra di allumina di elevata purezza
• Design del coperchio separabile

Potenza

5KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz

Temperatura di lavoro

• Temp. max. Temperatura: 1200℃ (1 ora); 1100℃ (continua)
• Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
• Precisione della temperatura: ±1,0

Lunghezza della zona di riscaldamento

• Tre zone: (880 mm, 35" in totale)

Zona 1: 220 mm (8,6")

Zona 2: 440 mm (17,3")

Zona 3: 220 mm (8,6")

Zona a temperatura costante

• Se tre zone sono impostate alla stessa temperatura, la zona a temperatura costante è lunga 25" (625 mm) con una discrepanza di temperatura di ± 1°C.
• Se si utilizza una sola zona (zona centrale), la zona a temperatura costante è lunga 110 mm (4,3") con una differenza di temperatura di ± 1°C.

Elementi di riscaldamento

Lega Fe-Cr-Al drogata con Mo

Regolatore di temperatura Regolatore

• Tre regolatori di temperatura di precisione per controllare tre zone separatamente
• Controllo automatico PID con 30 segmenti programmabili per un controllo preciso della velocità di riscaldamento, della velocità di raffreddamento e del tempo di permanenza
• Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia
• La protezione e l'allarme di sovratemperatura consentono il funzionamento senza personale di assistenza
• Precisione della temperatura di ± 1℃
• Porta di comunicazione RS485

Sensore di vuoto e display

• Calibro a membrana capacitiva resistente alla corrosione con testa del sensore rivestita in ceramica, appositamente progettato per le misurazioni del vuoto in presenza di gas corrosivi.
• Il misuratore è installato sulla flangia del vuoto del forno a tubi e fornisce un ampio intervallo di misura (10^-5 ~ 1000 torr).

Tubo di quarzo e flange di tenuta

• Tubo di quarzo fuso da 80 mm O.D. x 72 mm ID. x 1400 mm incluso.
• Sono incluse flange per il vuoto con valvole e manometri.

Flangia scorrevole con portacampioni

La slitta per il trasferimento del campione (azionata manualmente) è disponibile come opzione al costo aggiuntivo di 1900 dollari.

Flange di tenuta del vuoto

• Due flange in acciaio inox con manometro e valvole incluse.
• La pressione minima del vuoto raggiunta dalla pompa meccanica è di 5,5 m-torr. (5,5x10^-3 torr). La pressione può raggiungere 10^-5 torr utilizzando una pompa meccanica + molecolare.
• Il tasso di perdita è < 5 m-torr / min. e la pressione di vuoto stabile dopo 24 ore è < 2 torr.

Monitoraggio dell'ossigeno

Un sensore di ossigeno può essere utilizzato per monitorare il livello di ossigeno dei gas utilizzati nei sistemi CVD per prevenire o ridurre l'ossidazione.

Pompa per vuoto

La pompa del vuoto rotativa a palette da 120 L/m è inclusa con una pressione di vuoto massima di 10^-2torr. È incluso un tubo flessibile in acciaio inox per il collegamento al forno a tubi.

Misuratore di flusso di gas e misuratore di pressione

• Tre misuratori di portata di gas (4% di precisione FS) sono installati all'interno della cassa mobile per consentire il monitoraggio delle portate di gas (tre diversi tipi di gas in totale).

Flussimetro compatto a lettura diretta, 10-100 cc/min.

Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 16-160 cc/min.

Misuratore di portata compatto a lettura diretta, 25-250 cc/min.

• All'interno del carrello mobile sono installati quattro misuratori di pressione in grado di monitorare tre tipi di pressione del gas in circolazione e la pressione del serbatoio di miscelazione.

Peso di spedizione

850 libbre

Valvole

Quattro valvole in acciaio inox sono installate nel pannello laterale del carrello mobile per controllare la miscelazione dei tre gas in ingresso separatamente.

Dimensioni

• Forno: 1100 X 450 x 670 mm
• Cassa mobile inferiore: 600 x 600 x 597 mm

Garanzia

Garanzia limitata di un anno del produttore.

Avvertenze e note

• Per ottenere una temperatura accurata all'interno del forno a tubi, è necessario calibrare la temperatura da soli.
• I forni tubolari con tubi in allumina sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
• La portata dei gas deve essere limitata a < 200 SCCM (o 200 ml/min) per ridurre gli shock termici al tubo.
• Attenzione: Per un funzionamento sicuro, è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
• Definizione del limite di vuoto per tutti i forni a tubo di quarzo: * Le pressioni del vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.

Certificato

• Certificato CE
• La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.