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ST11467 Bersaglio di titanio e silicio, bersaglio TiSi

Catalogo no. ST11467
Composizione TiSi
Forma Rotondo, rettangolare, personalizzato
Forma Obiettivo
La purezza Ti+Si: ≥99%

Il target di titanio e silicio, TiSi Target, è prodotto per i processi di sputtering in applicazioni di film sottili. Prodotto da Stanford Advanced Materials (SAM), presenta una composizione uniforme di TiSi verificata mediante imaging al SEM e profilometria laser. SAM utilizza rigorosi test di lotto e microanalisi per ridurre al minimo i contaminanti e garantire proprietà coerenti del materiale. L'ambiente di lavorazione controllato supporta la riproducibilità essenziale nelle tecniche di deposizione avanzate.

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FAQ

Quali sono i parametri del processo di deposizione da considerare quando si utilizza questo target?

Il processo di sputtering con questo target richiede un attento controllo della densità di potenza e della pressione della camera. Le regolazioni della potenza RF o DC influenzano l'uniformità e la stechiometria del film. Il monitoraggio della temperatura del substrato può ottimizzare ulteriormente l'aderenza del film.

Come si verifica la microstruttura dell'obiettivo?

Il target viene sottoposto a imaging SEM e a profilometria laser per valutare l'uniformità della superficie e individuare potenziali difetti. Questi controlli aiutano a mantenere la coerenza durante lo sputtering e a ridurre la contaminazione da particolato nel film depositato.

Il target può essere personalizzato per soddisfare i requisiti specifici del sistema di sputtering?

Sì, sono disponibili opzioni di personalizzazione per le dimensioni e le tolleranze di lavorazione. La personalizzazione di questi parametri garantisce la compatibilità con diversi sistemi di deposizione e favorisce la riproducibilità del processo. Per informazioni dettagliate sulle opzioni di personalizzazione, contattateci.

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