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ST11463 Target planare in alluminio e nichel, target AlNi

Catalogo no. ST11463
Composizione AlNi
Forma Rettangolare
Forma Obiettivo
La purezza Al+Ni: ≥99%

Il target planare in alluminio-nichel, AlNi Target, è un target di sputtering in alluminio-nichel progettato per la deposizione di precisione di film sottili. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega misurazioni rigorose della densità e ispezioni ottiche della superficie durante la produzione per monitorare l'omogeneità e la planarità. Il processo di fabbricazione comprende fasi controllate di legatura e lavorazione che contribuiscono a mantenere costanti le proprietà del materiale per le applicazioni di sputtering nella produzione di semiconduttori e in settori correlati.

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FAQ

Che impatto ha la composizione alluminio-nichel sulla deposizione del film?

La composizione AlNi fornisce un ambiente termico ed elettrico equilibrato durante lo sputtering. Favorisce il raggiungimento di uno spessore uniforme del film e riduce al minimo le deviazioni nei tassi di deposizione in condizioni di lavorazione tipiche. Per regolazioni specifiche del processo, può essere necessario variare i parametri di sputtering.

In che modo il design planare influisce sulle prestazioni del target nei sistemi di sputtering?

Il design planare consente un'erosione uniforme durante lo sputtering, garantendo una rimozione uniforme del materiale sulla superficie del bersaglio. Questa uniformità contribuisce alla deposizione uniforme del film sui substrati e alla stabilità dei parametri di processo per lunghi periodi di produzione.

Quali sono le pratiche di manipolazione consigliate durante l'installazione dell'obiettivo AlNi?

La manipolazione deve avvenire in un ambiente pulito, utilizzando guanti antistatici. Evitare gli urti meccanici durante l'installazione per evitare la deformazione della superficie. Per ulteriori indicazioni sulla riduzione della contaminazione e sul mantenimento dell'integrità del target, contattateci per ricevere raccomandazioni dettagliate.

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