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ST11217 Bersaglio planare in siliciuro di titanio, bersaglio TiSi2

Catalogo no. ST11217
Composizione TiSi2
La purezza ≥99,9%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare di siliciuro di titanio, TiSi2 Target, è un target di sputtering progettato per applicazioni di deposizione di film sottili. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega rigorosi controlli di processo, tra cui la microscopia elettronica a scansione e l'analisi di diffrazione dei raggi X, per verificare la coerenza microstrutturale. Il target è prodotto con una composizione controllata per ridurre al minimo i difetti e il rilascio di particolato, garantendo un'erosione uniforme del materiale sulla superficie durante lo sputtering.

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FAQ

Quali sono i fattori che influenzano l'uniformità del film quando si utilizza un target planare di titanio silicizzato per lo sputtering?

La configurazione planare e la microstruttura controllata contribuiscono a un'erosione uniforme sulla superficie del target. Questo riduce al minimo la generazione di particolato e garantisce una deposizione costante di film sottile, a condizione che le condizioni di sputtering siano ben regolate.

In che modo la personalizzazione delle dimensioni del bersaglio è vantaggiosa per le applicazioni di sputtering?

Le dimensioni personalizzate consentono l'integrazione con diversi sistemi di sputtering, facilitando la densità di potenza e le configurazioni di raffreddamento ottimali. Questa personalizzazione aiuta a ottenere una deposizione uniforme del film e a regolare i parametri di processo in base ai requisiti specifici del sistema.

Quali tecniche analitiche vengono utilizzate durante il controllo di qualità di questi target?

Il controllo di qualità prevede la valutazione della morfologia superficiale mediante microscopia elettronica a scansione e microscopia a forza atomica. Queste tecniche verificano l'integrità microstrutturale e assicurano difetti minimi, fondamentali per mantenere la coerenza della deposizione.

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