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ST11216 Target planare in siliciuro di tantalio, target TaSi2

Catalogo no. ST11216
Composizione TaSi2
La purezza ≥99,9%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare di siliciuro di tantalio, TaSi2 Target, è prodotto da TaSi2 utilizzando tecniche di fusione e planarizzazione controllate per ottenere proprietà microstrutturali costanti. La Stanford Advanced Materials (SAM) utilizza la microscopia elettronica e la diffrazione dei raggi X per la verifica dei lotti, garantendo una composizione e una struttura dei grani uniformi. Il processo di produzione comprende il campionamento statistico e l'analisi precisa della superficie, che garantisce il rispetto di specifiche rigorose e supporta prestazioni di deposizione riproducibili.

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FAQ

In che modo la microstruttura dei target TaSi2 influenza le prestazioni di sputtering?

La microstruttura governa direttamente l'uniformità del film, influenzando la velocità di deposizione e la qualità dell'interfaccia. I confini dei grani ben controllati riducono la dispersione delle particelle, migliorando così l'adesione e l'uniformità del film durante la deposizione sputter.

Quali misure di controllo della qualità vengono attuate durante la produzione dei target di sputtering TaSi2?

SAM impiega la microscopia elettronica e la diffrazione dei raggi X per valutare la struttura dei grani e l'uniformità compositiva. Vengono eseguiti campionamenti specifici per lotto e saggi di composizione per garantire la stretta aderenza alle specifiche del materiale.

Esistono condizioni specifiche di manipolazione o conservazione dei target TaSi2 per mantenerne l'integrità?

Questi target devono essere conservati in un ambiente asciutto e a temperatura controllata. Si consiglia l'uso di contenitori antistatici e di protocolli di manipolazione minimi per evitare la contaminazione e l'ossidazione della superficie prima delle applicazioni di sputtering.

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