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ST11208 Target planare al silicio, target Si

Catalogo no. ST11208
Composizione Si
La purezza ≥99,99%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare al silicio, Si Target, è un target di sputtering fabbricato in silicio con una precisa finitura superficiale planare. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega processi di fabbricazione controllati che includono la metrologia in linea e l'ispezione della superficie per monitorare la planarità e i livelli di impurità. Questo approccio riduce al minimo i difetti e garantisce proprietà uniformi del materiale, essenziali per i processi di deposizione. Il prodotto beneficia di protocolli dettagliati di test dei lotti che verificano l'accuratezza dimensionale prima della spedizione.

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FAQ

In che modo la finitura superficiale planare del target di silicio influisce sulle prestazioni dello sputtering?

La finitura superficiale planare assicura un tasso di deposizione costante sul substrato, riducendo al minimo le variazioni di spessore del film. L'uniformità dello sputtering contribuisce direttamente a migliorare la riproducibilità delle proprietà dei film sottili.

Quali procedure di manipolazione sono consigliate per evitare la contaminazione del target di silicio?

Utilizzare protocolli appropriati per la camera bianca, compresa la manipolazione antistatica e l'uso di guanti. Ridurre al minimo l'esposizione al particolato e all'umidità dell'aria è fondamentale per preservare l'integrità della superficie del target e le prestazioni ottimali dello sputtering.

In che modo la personalizzazione delle dimensioni target influenza l'integrazione dei processi?

La personalizzazione delle dimensioni consente al target di conformarsi ai requisiti specifici del sistema di sputtering, garantendo la compatibilità con le camere di deposizione. Questa adattabilità facilita un'integrazione più efficiente del processo e massimizza l'uniformità del film. Contattateci per ulteriori dettagli.

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