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ST11199 Bersaglio planare di pentossido di niobio, bersaglio Nb2O5

Catalogo no. ST11199
Composizione Nb2O5
La purezza ≥99,95%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare di pentossido di niobio, Nb2O5, è prodotto con metodi di sintesi controllata per ottenere una superficie planare uniforme per le applicazioni di sputtering. Stanford Advanced Materials (SAM) utilizza tecniche di ispezione avanzate, tra cui l'analisi al SEM, durante il processo di produzione per verificare l'omogeneità e la composizione della superficie. Il target viene fabbricato sotto un rigoroso controllo del processo, garantendo la coerenza nella distribuzione del materiale e l'integrità strutturale per i processi di deposizione di film sottili più impegnativi.

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FAQ

Quali considerazioni sul processo di sputtering sono importanti quando si utilizzano target di pentossido di niobio?

Quando si utilizzano target Nb2O5, è essenziale mantenere un plasma Ar stabile e monitorare i tassi di deposizione. Può essere necessario regolare le impostazioni di potenza per adattarsi alla configurazione planare del target, garantendo una deposizione uniforme del film sottile senza indurre microfessure.

In che modo la purezza del materiale influisce sulle prestazioni dei target di sputtering al pentossido di niobio?

L'elevata purezza del materiale riduce al minimo la contaminazione da particolato e garantisce proprietà costanti del film durante la deposizione. Il controllo preciso della composizione chimica porta a una maggiore uniformità del film e a una migliore aderenza, fondamentale per le applicazioni che richiedono specifiche di processo rigorose.

Esistono fasi specifiche di pretrattamento raccomandate per i target di pentossido di niobio prima dello sputtering?

Il pretrattamento può includere una pulizia e un'asciugatura delicate per rimuovere i contaminanti dalla superficie. Queste procedure aiutano a ottenere un'adesione ottimale e a prevenire la formazione di archi durante lo sputtering. Per indicazioni dettagliate, consultare la documentazione tecnica fornita con il target.

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