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ST11178 Bersaglio rotante di ferro cobalto boro, bersaglio CoFeB

Catalogo no. ST11178
Composizione CoFeB
La purezza ≥99,9%, o personalizzato
Forma Obiettivo
Forma Tubolare
Dimensioni Personalizzato

Il target rotante di ferro cobalto boro, CoFeB Target, è fabbricato con una composizione controllata della lega per garantire caratteristiche di sputtering uniformi. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega una fusione ad arco sotto vuoto dedicata, seguita da rigorose analisi SEM e EDS per verificare l'omogeneità del materiale. Il prodotto viene lavorato in condizioni metallurgiche rigorose per ridurre le incongruenze microstrutturali che possono influire sull'uniformità del film nei processi di sputtering a bassa pressione.

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FAQ

Quali fattori influenzano il comportamento di sputtering del target CoFeB durante la deposizione di film sottile?

Il comportamento dello sputtering è influenzato dall'omogeneità della lega, dalla densità del bersaglio e dalle caratteristiche microstrutturali. Le variazioni di questi parametri possono influenzare la velocità di deposizione e l'uniformità del film. Un controllo di qualità dettagliato con l'ausilio del SEM può aiutare a verificare le caratteristiche del materiale necessarie per ottimizzare le prestazioni.

In che modo il design rotante del bersaglio ne migliora le prestazioni nei processi di sputtering?

Il design rotante consente un'erosione uniforme sulla superficie di destinazione, riducendo il surriscaldamento localizzato e mantenendo una distribuzione uniforme del materiale. Ciò favorisce caratteristiche di deposizione uniformi, particolarmente importanti per le applicazioni che richiedono rivestimenti uniformi su substrati di grandi dimensioni.

Quali sono le pratiche di manutenzione consigliate per prolungare la vita utile dei target di sputtering CoFeB?

È necessario effettuare ispezioni regolari per verificare l'usura della superficie, mantenere un raffreddamento adeguato durante lo sputtering e rispettare condizioni di conservazione controllate. Queste pratiche aiutano a prevenire la contaminazione e il degrado fisico, prolungando così la vita operativa del target. Per ulteriori dettagli, contattateci.

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