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ST11172 Target planare in alluminio, zinco, indio e silicio, target AlZnInSi

Catalogo no. ST11172
Composizione Al, Zn, In, Si
La purezza ≥90%
Forma Obiettivo
Forma Rettangolare
Dimensioni Personalizzato

Il target planare di alluminio, zinco, indio e silicio, AlZnInSi, è prodotto con un processo di lega controllato che garantisce una composizione multi-elemento coerente per le applicazioni di sputtering. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega un'analisi sistematica degli elementi e un'ispezione della morfologia superficiale mediante microscopia elettronica per verificare l'uniformità della composizione. Questo prodotto è realizzato con rigorosi controlli di processo per mantenere precisi rapporti di lega, soddisfacendo gli esigenti requisiti dei sistemi avanzati di deposizione di film sottili.

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FAQ

Quali parametri del sistema di sputtering devono essere considerati quando si utilizza il target AlZnInSi?

Il target richiede la regolazione della densità di potenza e della pressione di lavoro per ottimizzare il tasso di deposizione. Gli operatori devono calibrare i loro sistemi di sputtering per adattarli alle dimensioni personalizzate del target, garantendo una crescita uniforme del film e una distribuzione controllata degli elementi.

In che modo la composizione multielemento influisce sull'uniformità di deposizione?

Gli elementi di lega integrati consentono un rendimento di sputtering bilanciato su tutta la superficie del target. Questa composizione riduce al minimo le variazioni localizzate durante la deposizione del film, garantendo uno spessore e una composizione uniformi dello strato, essenziali per la produzione di dispositivi a semiconduttore.

Esistono protocolli di pulizia specifici consigliati per la manutenzione della superficie target?

Si consiglia una pulizia regolare con solventi non abrasivi e un rigoroso controllo del particolato. Una corretta manipolazione riduce al minimo la contaminazione superficiale e preserva l'integrità planare del target, sostenendo così le prestazioni nelle applicazioni di sputtering ad alta precisione.

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