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CY11157 Wafer di silicio rivestito di nitruro di titanio (TiN)

Catalogo no. CY11157
Materiale TiN, Silicio
La purezza TiN: ≥99,995%
Forma Substrato

I wafer di silicio rivestiti di nitruro di titanio (TiN) sono prodotti utilizzando tecniche di deposizione controllata per ottenere uno strato di TiN uniforme e costante sui substrati di silicio. Stanford Advanced Materials (SAM) utilizza tecniche avanzate di sputtering e metrologia di superficie, compresa l'analisi SEM, per monitorare lo spessore e l'uniformità del film. Questo approccio riduce al minimo la variabilità del processo e garantisce che il wafer raggiunga parametri di prestazione adatti alle applicazioni di semiconduttori più esigenti.

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FAQ

Come si controlla lo spessore dello strato di TiN durante il processo di rivestimento?

Lo strato di TiN viene depositato utilizzando tecniche di sputtering con monitoraggio in situ per regolare lo spessore del film. Questo processo mantiene l'uniformità su scala microscopica, assicurando che il rivestimento aderisca bene e soddisfi i requisiti applicativi specifici dei dispositivi a semiconduttore.

Quali misure vengono adottate per garantire la qualità della superficie del substrato prima del rivestimento?

Il wafer di silicio viene sottoposto a rigorosi processi di pulizia e pretrattamento della superficie per rimuovere i contaminanti. La qualità della superficie viene verificata con strumenti metrologici avanzati, per garantire che lo strato di TiN aderisca in modo ottimale e riduca al minimo i difetti che potrebbero influire sulle prestazioni del dispositivo.

Il processo di rivestimento TiN è compatibile con le apparecchiature standard di produzione dei semiconduttori?

Sì, il processo di rivestimento TiN è progettato per integrarsi con le linee di produzione di semiconduttori convenzionali. I parametri di deposizione controllati e le dimensioni standard del substrato facilitano l'incorporazione nei flussi di lavoro di produzione esistenti, richiedendo adeguamenti minimi.

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