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CY11156 Vetro rivestito di iridio (Ir)

Catalogo no. CY11156
Materiale Iridio, borosilicato
La purezza Ir: ≥99,9%
Forma Substrato

Il vetro rivestito di iridio (Ir) è un substrato di vetro sulla cui superficie viene applicata una sottile pellicola di iridio. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega tecniche di deposizione controllata e una rigorosa ispezione della superficie mediante microscopia elettronica per mantenere l'uniformità del rivestimento. Questo processo riduce al minimo la contaminazione e garantisce l'aderenza alle rigorose proprietà dei materiali richieste nella lavorazione dei semiconduttori. La competenza specifica di SAM nell'uniformità del film sottile è verificata dalla metrologia di processo, che supporta le prestazioni costanti del substrato di vetro.

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FAQ

In che modo il rivestimento di iridio influisce sul comportamento ottico durante la lavorazione dei semiconduttori?

Lo strato di iridio controlla la riflettività e fornisce una barriera agli attacchi chimici, contribuendo a ottenere risposte ottiche coerenti durante la fotolitografia. La sua deposizione uniforme è fondamentale per mantenere la stabilità del processo.

Quali controlli di processo sono necessari durante la deposizione dell'iridio su substrati di vetro?

Il processo di deposizione richiede un controllo rigoroso della temperatura, della pressione e della composizione del gas ambiente. Piccole deviazioni possono influenzare l'adesione e l'uniformità del film, con potenziali ripercussioni sulle successive fasi di lavorazione dei semiconduttori.

È possibile personalizzare lo spessore del rivestimento di iridio per applicazioni specifiche?

Sì, lo spessore del rivestimento può essere regolato per soddisfare precise esigenze di produzione. È possibile realizzare configurazioni personalizzate per ottimizzare le proprietà ottiche e di barriera in base a specifici requisiti di processo. Contattateci per ulteriori dettagli.

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