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CY11155 Wafer di silicio rivestito di iridio (Ir)

Catalogo no. CY11155
Materiale Iridio, silicio
La purezza Ir: ≥99,9%
Forma Substrato

Il wafer di silicio rivestito di iridio (Ir) è un substrato di silicio con una sottile pellicola di iridio applicata mediante deposizione controllata. Stanford Advanced Materials (SAM) impiega la deposizione sputter e la mappatura della superficie al SEM per lo screening della qualità, monitorando con precisione lo spessore e l'uniformità del film. Questo metodo riduce al minimo i rischi di ossidazione e contaminazione durante i processi ad alta temperatura. Il quadro tecnico di SAM garantisce che ogni wafer soddisfi le rigorose specifiche di fabbricazione per la ricerca sui semiconduttori e lo sviluppo dei processi.

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FAQ

Qual è l'impatto del rivestimento all'iridio sulle prestazioni dei wafer a temperature elevate?

Lo strato di iridio funge da barriera contro l'ossidazione e la diffusione del metallo, proteggendo il substrato di silicio durante i processi ad alta temperatura. La sua deposizione controllata riduce al minimo la contaminazione, garantendo così che il wafer mantenga la sua integrità strutturale durante i cicli termici.

Quale tecnica di deposizione viene utilizzata per ottenere uno strato uniforme di iridio?

Il rivestimento di iridio viene applicato con un metodo di deposizione sputter. Questa tecnica consente un controllo preciso dello spessore e dell'uniformità del film, fondamentale per garantire la costanza delle proprietà del materiale durante la produzione di semiconduttori.

Esistono sfide di integrazione nell'incorporare wafer rivestiti di iridio nei processi standard dei semiconduttori?

L'integrazione richiede un attento controllo dei parametri di deposizione e delle successive fasi di pulizia. Tuttavia, il rivestimento è progettato per essere compatibile con i processi di fabbricazione CMOS convenzionali, anche se si consiglia di verificare periodicamente l'uniformità del film tramite SEM.

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