Forno a tubo scorrevole 1200C per l'elaborazione termica rapida OTF-1200X-RTP-5S Descrizione
Ilforno a tubo scorrevole da 1200 C per il trattamento termico rapido OTF-1200X-RTP-5S è un versatile forno scorrevole da 5 pollici dotato di riscaldamento a resistenza e di un motore di scorrimento elettrico per un riscaldamento e un raffreddamento rapidi ed efficienti. Raggiunge velocità di riscaldamento e raffreddamento massime di 2°C e 4°C al secondo, rispettivamente, ed è in grado di ricuocere wafer fino a 4 pollici di diametro a temperature di 1200°C. L'unità è racchiusa in un involucro di acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria per garantire che la temperatura del mantello del forno rimanga a 60°C o inferiore.
Forno a tubo scorrevole a 1200°C per il trattamento termico rapido OTF-1200X-RTP-5S Caratteristiche tecniche
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Struttura del forno
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- Involucro in acciaio a doppio strato con raffreddamento ad aria: ≤60℃
- Unità di controllo della temperatura separata per il funzionamento a distanza
- Zona di riscaldamento estesa
- Guide di scorrimento dinamico: che consentono al forno di spostarsi orizzontalmente da un lato all'altro
- Ricottura di wafer fino a un diametro massimo di 4" con barca di quarzo
- Tubo di quarzo: Tubo di quarzo da 5" (130 mm O.D x 120 mm I.D x 1100 mmL) incluso con flange a tenuta d'aria
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Potenza
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3KW, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz
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Temperatura di lavoro
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- Temp. max. Temperatura: 1200℃ (<30min); 1100℃ continuo
- Velocità di riscaldamento: ≤20℃/min
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Controllo dello scorrimento
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- Doppio binario di scorrimento in acciaio placcato al Cr
- Lunghezza della guida di scorrimento: 1200 m
- Gamma di scorrimento: 450 mm
- Opzionale: Lo scorrimento automatico è azionato da un motore CC ed è controllato dal termoregolatore. Quando il programma di riscaldamento è terminato, il forno scorre da destra a sinistra alla velocità impostata. I ventilatori soffiano le aree riscaldate per ottenere un raffreddamento rapido.
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Regolatore di temperatura
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- Due regolatori automatici PID con 30 segmenti programmabili per il controllo della velocità di riscaldamento e raffreddamento e del tempo di permanenza.
- Protezione integrata contro il surriscaldamento e la rottura della termocoppia.
- Precisione della temperatura di +/- 1℃.
- Porta di comunicazione RS485.
- Controllo PC
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Controllore del vuoto
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Limitato da una pompa per vuoto
- 10^-2 torr può essere raggiunto da una pompa meccanica
- 10^-5 torr può essere raggiunto da una pompa molecolare
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Peso netto
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110 kg
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Dimensioni
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1300x 550 x 600 mm (forno chiuso)
1300x 750 x 850 mm (forno aperto)
350x 250 x 410 mm (scatola di controllo)
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Garanzia
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- I forni tubolari con tubi al quarzo sono progettati per l'uso sotto vuoto e a bassa pressione < 0,12 MPa
- Attenzione: Per un funzionamento sicuro è necessario installare un regolatore di pressione a due stadi sulla bombola del gas per limitare la pressione a meno di 3 PSI.
- Le pressioni sotto vuoto possono essere utilizzate in sicurezza solo fino a 1000°C.
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Certificato
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- Certificato CE
- La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.
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Forno a tubo scorrevole a 1200°C per il trattamento termico rapido OTF-1200X-RTP-5S Applicazioni
- Lavorazione dei semiconduttori: Uno degli impieghi principali dei forni RTP è nell'industria dei semiconduttori, dove vengono utilizzati per la ricottura dei wafer di semiconduttori.
- Sintesi e sperimentazione di materiali: Questi forni sono ideali per la sintesi di nuovi materiali, tra cui metalli, ceramiche e compositi, soprattutto quando il processo richiede un controllo preciso della temperatura e cicli rapidi di riscaldamento e raffreddamento.
- Rivestimenti: L'RTP viene utilizzato per depositare vari tipi di rivestimenti su substrati, tra cui film sottili e rivestimenti multistrato, essenziali nella produzione di dispositivi elettronici e ottici.
- Ricerca e sviluppo: I forni RTP sono ampiamente utilizzati nella ricerca scientifica per studiare gli effetti delle alte temperature su diversi materiali e la cinetica delle trasformazioni di fase.
Forno a tubo scorrevole da 1200 C per il trattamento termico rapido OTF-1200X-RTP-5S Imballaggio
Il nostro forno a tubo scorrevole 1200C per l'elaborazione termica rapida OTF-1200X-RTP-5S viene trattato con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.
