Fuori produzione Forno (Fuori Produzione) rotativo CVD assistito da plasma a microonde IF5732 1200C GSL-1200R-MWPE

Microonde

• Frequenza: 2,45 GHz ±25 MHz
• Potenza di uscita: 1400W
• Perdita di potenza a microonde: ≤ 3 mW/cm² a 1 metro di distanza.

Modulo di riscaldamento e tubo di lavorazione

• La moneta di riscaldamento a filo di Ni-Cr-Al con ID di 80 mm è installata all'interno del modulo di allumina fibrosa.
• La bobina di riscaldamento è posizionata all'interno della camera a microonde.
• Il tubo di quarzo da 2" (OD 50 x ID 44x L 600 mm) è inserito all'interno del modulo di riscaldamento e della camera a microonde per produrre il plasma.

Potenza

2000W, 208-240VAC, monofase, 50/60Hz

Flange e vuoto

• Una coppia di flange per il vuoto è inclusa per sigillare il tubo di quarzo.
• La porta per il vuoto KF25 e l'ingresso e l'uscita del gas da 1/4 con valvole a spillo sono integrate nella flangia.
• È incluso un vacuometro digitale per il controllo del vuoto.
• Livello di vuoto max. Livello di vuoto: ^10-2 torr con pompa a secco e ^10-5 torr con turbopompa.
• La pompa non è inclusa.

Girevole in linea e velocità rotativa

• Sono inclusi due raccordi girevoli in linea per il gas, collegati alle flange, che consentono al tubo del gas di rimanere in posizione durante la rotazione del tubo.
• Velocità di rotazione: la rotazione del tubo è azionata da un motore a corrente continua con una gamma di velocità variabile da 1 a 5 giri/min.
• Per collegare i raccordi girevoli in linea al serbatoio del gas è necessario un tubo del gas da 1/4".
• Fare clic sull'immagine a sinistra per vedere le specifiche dettagliate

Temperatura di lavoro.

• Temp. max. Temp.: 1200℃ (<30min); ≤1100℃ continuo.
• Temp. min. Temperatura: 800℃
• Velocità di riscaldamento: 1 ~20°C/min

Regolatore di temperatura

• 30 segmenti programmabili per velocità di riscaldamento, temperatura e tempo di sosta e velocità di raffreddamento
• Controllo della temperatura SCR
• Protezione da sovratemperatura e da rottura della coppia termica
• Precisione di controllo +/-1,0
• Coppia termica di tipo K inserita attraverso la flangia

Peso netto

30 kg

Dimensioni

Microonde: 560(L) x 410(W) x 340(H) mm

Profondità totale con tubo e flangia: 780 mm

Controllore: 600(L) x 520(L) x 265(H) mm

Garanzia

• Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita.
• I materiali di consumo, compresi crogioli, elementi riscaldanti e materiali di isolamento termico, non sono coperti dalla garanzia.
• ATTENZIONE: Eventuali danni causati dall'uso di gas corrosivi e acidi non sono coperti dalla garanzia limitata di un anno SAM.

Certificato

• Certificato CE
• La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.