IF5727 (Fuori Produzione) Forno CSS e RTP 800C RTP-II-5-R

Caratteristiche

• Una camera da vuoto con diametro di 20 pollici costruita in acciaio inossidabile, che raggiunge un livello di vuoto fino a 10^-5 torr utilizzando una turbopompa.
• Due piastre riscaldanti a infrarossi (IR) da 12 pollici posizionate strategicamente all'interno della camera per ottimizzare la distribuzione del calore.
• Un termoregolatore di precisione Eurotherm che garantisce un'accuratezza della temperatura entro ±0,1°C.
• Un computer touchscreen che consente un controllo completo di tutti i parametri di lavorazione.

Parametri di base

• Temperatura massima di riscaldamento Temperatura di riscaldamento: 950℃
• Differenza di temperatura massima tra i due riscaldatori: ≤ 300℃
• Velocità massima di riscaldamento: 8℃/s
• Velocità massima di raffreddamento: <20℃/s Velocità di raffreddamento: <20℃/s

Potenza

208 - 240VAC, tre fasi, 50/60 Hz

60kw

Camera a vuoto

• Dimensioni della camera: ID 500 mm x H 460 mm
• Due finestre al quarzo di 60 mm di diametro sono costruite per facilitare l'osservazione.
• Un deflettore scorrevole a tenuta d'aria è integrato per bloccare la fonte di evaporazione sotto vuoto spinto.
• Un vacuometro digitale di precisione anticorrosione è fornito di serie con l'unità, per garantire misurazioni accurate del vuoto.
• Pompa per vuoto opzionale: 10-5 torr con turbopompa o 10-2 torr con pompa meccanica.

Riscaldatore e portacampioni

• Due riscaldatori a infrarossi sono posizionati sulla parte superiore e inferiore della camera con distanze regolabili da 2 a 25 mm.
• I riscaldatori sono realizzati in acciaio inossidabile con una camicia fredda ad acqua per mantenere l'isolamento termico.
• Il supporto circolare per wafer da 12" di diametro è incorporato nel riscaldatore superiore per tenere il substrato.
• Le piastre di grafite sono posizionate sulla parte superiore del riscaldatore IR per rendere il riscaldamento più uniforme.
• Il portacampioni superiore è ruotabile a una velocità regolabile da 1 a 10 giri/min.
• Per il raffreddamento dei riscaldatori è incluso un refrigeratore d'acqua circolante da 58 l/min.

Sistema di controllo

• Due termoregolatori digitali Eurotherm 3000 con 24 segmenti programmabili offrono un controllo indipendente dei riscaldatori superiore e inferiore con una precisione di +/- 0,1ºC.
• Tutte le operazioni, come i profili di temperatura, la pressione del vuoto, la velocità di rotazione e il sollevamento della flangia, sono controllate da un computer touch screen tramite un PLC.
• Il computer è in grado di visualizzare i profili di temperatura e di vuoto e di avviare 10 programmi di lavorazione preimpostati.

Peso netto

~500 kg

Dimensioni

L 1450 X L 1250 X H 2100 mm

Garanzia

• Garanzia limitata di un anno con assistenza a vita.
• ATTENZIONE: Eventuali danni causati dall'uso di gas corrosivi e acidi non sono coperti dalla garanzia limitata di un anno SAM.

Certificato

• Certificazione CE
• La certificazione NRTL o CSA è disponibile a un costo aggiuntivo.