Descrizione degli elementi riscaldanti compositi PBN/PG
Ilnitruro di boro pirolitico è utilizzato come substrato per l'elemento riscaldante PBN. La grafite pirolitica (PG) viene posta sulla superficie delle piastre di PBN con il metodo CVD come conduttore e riscaldatore. A seconda dei diversi requisiti delle applicazioni, l'elemento riscaldante in PG può essere coperto nuovamente dal PBN o rimanere aperto.
Poiché sia il PG che il PBN sono estremamente puri (99,99% o addirittura superiori) e molto stabili nel vuoto o in atmosfera inerte, gli elementi riscaldanti compositi PBN/PG possono essere molto resistenti e mantenere la camera pulita. Possono essere riscaldati a 1600℃ in un tempo molto breve senza l'emissione di alcun componente gassoso. Hanno inoltre una buona resistenza agli acidi e agli alcali. Questi elementi riscaldanti sono prodotti ideali per l'industria dei semiconduttori e per le applicazioni che richiedono alta temperatura, alto vuoto ed elevata purezza.
Specifiche degli elementi riscaldanti compositi PBN/PG
Diametro:
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0,5"~4", o personalizzato
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Densità della massa
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2,0-2,19g/cm3
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Temperatura di lavoro max. Temperatura di lavoro (vuoto)
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2400℃
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Resistività di volume (Ω-cm)
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3.11*1011
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Resistenza alla flessione (Mpa)
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243.63
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Conduttività termica (W/M-k)
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43-60
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Servizio personalizzato:
Forma
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Wafer
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Rettangolo
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Tubo
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Dimensione (mm)
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φ380 MAX
1.0-2.5
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265*265 MAX
1.0-2.5
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φ265 MAX
400 MAX Lunghezza
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Campione
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Elementi riscaldanti compositi PBN/PG Applicazioni
- Riscaldatore di substrati di semiconduttori (nei settori MBE, MOCVD, sputter coating, CVC, ecc.)
- Riscaldamento di substrati di superconduttori.
- Riscaldamento di campioni al microscopio elettronico.
- Riscaldamento dell'evaporazione dei metalli.
Imballaggio degli elementi riscaldanti compositi PBN/PG
I nostri elementi riscaldanti compositi PBN/PG sono trattati con cura durante lo stoccaggio e il trasporto per preservare la qualità del prodotto nelle sue condizioni originali.
25Kg/sacco