Come pulire i materiali di deposito spediti in olio?

Per proteggere alcuni materiali depositati dalla reazione con l'aria o il vapore acqueo, di solito vengono immersi in olio minerale a bassa viscosità (idrocarburi) durante lo stoccaggio e la spedizione. Prima di installare questi materiali di composizione spediti in olio nel sistema di vuoto, dobbiamo usare dei solventi per rimuovere questi oli. La scelta dei solventi si basa sulla premessa che essi non agiscano come ulteriori fonti di contaminazione per il sistema del vuoto o per i successivi processi a film sottile.

Scelta del solvente

Alcuni materiali di deposito altamente reattivi possono reagire con alcuni solventi. Pertanto, scegliere sempre un solvente di natura strettamente idrocarburica.

Ecco alcuni solventi che NON sono raccomandati. È meglio non usarli per rimuovere l'olio:

• * Non utilizzare solventi piridinici contenenti azoto.
• * Non utilizzare solventi contenenti zolfo, come il disolfuro di carbonio.
• * Non utilizzare uno dei numerosi solventi contenenti cloro, come ad esempio il tricloroetilene.
• * Non utilizzare solventi come alcoli, chetoni, esteri, eteri, furani o altri contenenti ossigeno.

Ecco alcuni solventi consigliati. Per ridurre al minimo le spese associate ai solventi idrocarburici puliti (privi di soluto) di elevata purezza, è possibile utilizzare solventi di grado tecnico, come esano, eptano e isoottano di grado tecnico, nelle fasi iniziali di pulizia.

NOTA: I gradi di elevata purezza di esano, eptano o iso-ottano devono essere spediti, conservati e utilizzati in contenitori di vetro. È importante notare che le bottiglie di plastica non sono un contenitore adatto per i solventi. Sebbene siano molto comode per conservare e maneggiare i solventi, i polimeri a basso peso molecolare contenuti nella plastica vengono eliminati dal solvente e rimangono come residui quando il solvente evapora. Anche in questo caso, non utilizzare mai i solventi conservati in contenitori di plastica.

Precauzioni per la manipolazione dei solventi organici

Quasi tutti i solventi organici sono pericolosi per la salute, quindi è bene accertarsi che:

1) NON respirare i vapori del solvente e non ingerire il liquido del solvente.

2) NON permettere che il contatto della pelle con il solvente o gli schizzi di solvente tocchino gli occhi.

3) NON lasciare che fiamme o riscaldatori esposti si avvicinino ai vapori.

Inoltre, si noti che tutta la manipolazione del solvente

1) deve essere effettuata in una cappa aspirante o in una scatola di guanti.

2) deve essere effettuata solo indossando schermi oculari, grembiuli e maschere respiratorie assorbenti adeguatamente protettivi.

3) deve essere effettuata solo indossando guanti che siano stati testati per dimostrare che i solventi in uso non dissolvono i guanti né li attraversano.

Ambiente richiesto

Per ritardare l'interazione tra aria e materiale, è preferibile pulire il materiale in una scatola di guanti a tenuta stagna, sotto una leggera pressione positiva di argon. Se ciò non è possibile, assicurarsi che tutte le fasi di pulizia siano completate il più rapidamente possibile in una cappa o in un'area ben ventilata. In questo modo si riduce il tempo di esposizione del materiale all'aria e si riduce anche il tempo di esposizione dell'operatore ai fumi del solvente.

Attrezzature e materiali necessari

Ecco i materiali di pulizia necessari:

• * Recipienti di vetro (becher o piastre di Petrie) di dimensioni adeguate, chimicamente e fisicamente puliti.
• * Purezza tecnica d (utilizzata nelle fasi iniziali di pulizia)
• * Solventi idrocarburici di purezza estremamente elevata (utilizzati nelle fasi di pulizia successive)
• * Tessuti privi di lanugine
• * Pinze o pinzette chimicamente e fisicamente pulite per maneggiare i materiali.

Procedura di pulizia dettagliata

Innanzitutto, è necessario preparare non meno di tre becher/piastre di Petri e assicurarsi di poter riempire una quantità di solvente tecnico sufficiente a immergere completamente il materiale di deposito. Allo stesso modo, preparare non meno di tre becher/piastre di Petri, con una quantità di solvente ad alta purezza sufficiente a immergere completamente il materiale.

In secondo luogo, rimuovere il materiale dall'imballaggio e pulire rapidamente l'olio in eccesso con un fazzoletto privo di lanugine. Successivamente, immergere immediatamente il materiale in becher o piastre di Petrie con solvente tecnico (DTS01) e agitare il materiale o il solvente per favorirne la dissoluzione. (Nota: il tempo che intercorre tra la rimozione del materiale e l'immersione nel solvente deve essere il più breve possibile, in modo da ridurre il tempo di esposizione del materiale all'aria. Inoltre, non tentare di asciugare completamente, poiché ciò aumenta l'esposizione all'aria e non riduce la contaminazione).

In terzo luogo, rimuovere il materiale dal TSD01 e asciugare rapidamente il solvente in eccesso con un nuovo fazzoletto di carta. Quindi, ripetere il secondo passaggio e immergere immediatamente il materiale nel TSD02 e mescolare il solvente.

Ripetere il processo sopra descritto fino a quando il materiale non avrà attraversato tutti i 6 becher o piastre di Petrie (3 con solvente tecnico e 3 con solvente di elevata purezza).

Quando il materiale viene rimosso dall'ultimo becher o piastra di Petrie con solvente di elevata purezza (DHS03), trasferirlo immediatamente nella camera a vuoto che deve essere pre-risciacquata (e continuare a essere risciacquata) con argon. La telecamera deve essere sempre ventilata con argon.

Quando il materiale è montato nella sua sorgente, interrompere il flusso di Ar, chiudere le flange della camera e pompare. Se il materiale di deposizione è un target di sputter reattivo, come Ca, Ba, Sr, che si ossida rapidamente, si consiglia di prespruzzarlo per un breve periodo.

Per tutto il tempo in cui il materiale si trova nella camera, assicurarsi che l'argon continui a fluire ad alta velocità volumetrica quando la camera è aperta, e mantenerlo ad alto vuoto quando la camera è chiusa.